高精密匀胶机旋涂仪SC100

高精密匀胶机旋涂仪SC100
应用：在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

产品介绍：

名称：高精密匀胶机

型号：SC100-SE

产地：

高精密匀胶机旋涂仪SC100应用：在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

产品描述：

高精密匀胶机旋涂仪SC100是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。

　　不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别200瓦伺服电机系统，采用与track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中*的大达到50000RPM/S的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和*的可重复性。

性能指标：

·         主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

·         旋涂程序：多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒

·         转动速度：0-10,000rpm（更高速可选）

·         旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）

·         马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm

·         转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm

·         工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec

·         支持wafer尺寸25px-200mm（8”圆晶）

·         旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）

产品优点：

·         全新的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。

·         7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。

·         Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。

·         标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。

·         采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

·         机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，*生锈，便于清洗。

·         排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。

·         透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时*隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

产品外型尺寸：

　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构
　　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可选分体结构