在选购匀胶机时需要考虑哪些问题?
(1)旋转速度
转速的快慢和控制度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大,会导致无法获得准确的实验数据。匀胶机只能提供转速范围,并不能标定实时的转速。
(2)真空吸附系统
真空泵要无油的,压力标定准确,油污可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生"飞片"的情况。
(3)材质的选择
对于半导体化行业的应用来说,材质的选择尤为关键,因为成本低,大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,,不锈钢的对于各类化胶液的抗腐蚀性不理想,塑料对于较温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。
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第四届全国光谱大会
展会城市:株洲市展会时间:2025-05-08