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LS-WPS150S 紧凑型晶圆测试探针台

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紧凑的结构;轻巧的质量;高等院校/研究所/工业用户实验室使用;大可用于6英寸以内样品测试;精密丝杠传动结构,线性移动;无回程差设计;50微米以上电极/PAD测试;VCSEL/LD/LED/PD的光谱波长/光功率测试;VCSEL/LD/LED/PD-LIV特性测试

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产品特性

1. 紧凑的结构
2. 轻巧的质量
3. 高等院校/研究所/工业用户实验室使用
4. 大可用于6英寸以内样品测试
5. 精密丝杠传动结构,线性移动
6. 无回程差设计
7. 50微米以上电极/PAD测试
8. VCSEL/LD/LED/PD的光谱波长/光功率测试
9. VCSEL/LD/LED/PD-LIV特性测试

 

主要技术指标

型号

LS-WPS100

LS-WPS150S

LS-WPS150

外形

400mm长*

400mm宽*

550mm高

400mm长*

400mm宽*

550mm高

680mm长*

530mm宽*

mm高

重量

约30公斤

约35公斤

约45公斤

电力需求

220VC, 50~60Hz

样品台

尺寸

4英寸,可360°旋转

6英寸,可360°旋转

6英寸,可360°旋转

X-Y行程

4*4英寸

4*4英寸

6*6英寸

移动精度

10um

样品固定方式

真空吸附

背电极测试功能

有,样品台电学独立悬空

针座平台

U型平台,多可放置6个小型针座

U型平台,多可放置8个小型针座

光学特性

显微镜行程

可360度旋转,Z轴:50.8mm

放大倍数

16~100X (200X可选)

CCD像素

50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)

点针规格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

机械精度

10微米/2微米/0.7微米

漏电精度

10pA/100fA(配置屏蔽箱时)

接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口

应用方向

VCSEL芯片及LD/LED/PD测试,PCB/封装器件测试,射频测试等。

 


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