当前位置：仪器网 > 产品中心 > 行业专用仪器>其它行业专用仪器/仪表>探针台>LSO-WPS50-TEC 高低温晶圆测试真空探针台
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可进行真空环境下的高低温测试（4.2K-450K）；防辐射屏设计，样品温度均匀性和稳定性更好；兼容高倍率金相显微镜，可微调移动；探针热沉设计；可升级自动流量控制；可升级加载磁场支持光谱波长/光功率特性测试；器件的高频特性（支持大67GHz频率）；VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光谱波长测试；VCSEL/LD/LED/PD的LIV/CV特性测试。
产品特性
1. 可进行真空环境下的高低温测试（4.2K-450K）
2. 防辐射屏设计，样品温度均匀性和稳定性更好
3. 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动
4. 探针热沉设计
5. 可升级自动流量控制
6. 可升级加载磁场
7. 支持光谱波长/光功率特性测试
8. 器件的高频特性（支持大67GHz频率）
9. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光谱波长测试
VCSEL/LD/LED/PD的的LIV/CV特性测试
主要技术指标
型号 | LSO-WPS50-TEC | LSO-WPS100-TEC | LSO-WPS50C-TEC | |
外形 | 900mm长* 900mm宽* 530mm高 | 1100mm长* 1100mm宽* 530mm高 | 1100mm长* 1100mm宽* 1030mm高 | |
重量 | 约170公斤 | 约190公斤 | 约290公斤 | |
电力需求 | AC220V, 50~60Hz | |||
样品台 | 尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 2英寸 |
样品固定方式 | 真空导热硅脂/弹簧压片 | |||
样品台移动 | 固定的样品台 | |||
真空度 | 10^-10torr真空 | |||
光学特性 | 显微镜行程 | 2*2英寸 | 4*4英寸 | 2*2英寸 |
放大倍数 | 变焦：7:1分辨率4μm（放大倍数216X）或者选用金像显微镜（20X-1000X） | |||
真空腔观察窗尺寸 | 2inch | 4inch | 2inch | |
CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | |||
温度控制 | 制冷方式 | 液氮/液氦 | 制冷压缩机 | |
控制方式 | 开循环手动/自动冷媒流量控制 | 闭循环自动控制 | ||
控温范围 | 77~450K/4.2K~450K | 4.2K~450K | ||
控温分辨率 | 0.001k | |||
温度稳定性 | 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K | |||
373K ±0.08K 473K ±0.1K | ||||
823K ±0.2K（可选） 973K ±1.0K（可选） | ||||
常温到8K冷却时间 | 90min | 150min | ||
8K到常温升温时间 | 90min | 90min | ||
常温开始的升温时间 | 100℃ 150℃ 200 ℃ | |||
30min 50min 80min | ||||
加热电源 | LVDC低压直流 | |||
传感器 | 硅二极管 | |||
传感器数量 | 样品台，防辐射屏，探针臂各一个 | |||
功率 | 50W/100W/500W/1000W | |||
点针规格 | 探针数量 | 2个/4个/6个 | ||
探针调节 | 真空波纹管外部调节，手动控制 | |||
点针精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | |||
点针行程 | 25mm-25mm-25mm | |||
漏电精度 | 10pA/100fA | |||
接口形式 | 三轴/SMA/K/光纤接口 | |||
应用方向 | 高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等 | |||
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