当前位置：仪器网 > 产品中心 > 行业专用仪器>其它行业专用仪器/仪表>探针台>LS-WPS150-TEC 高低温分析晶圆测试探针台
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非真空环境下的低温测试，可达-100℃ ；大手柄驱动，操作舒适，无回程差设计；兼容高倍率金相显微镜，可微调移动 ；0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试；.高等院校/研究所/公司实验室使用 。
产品特性
1. 非真空环境下的低温测试，可达-100℃
2. 大手柄驱动，操作舒适，无回程差设计
3. 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动
4. 0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试
5. 高等院校/研究所/公司实验室使用
6. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光谱测试
7. 大可用于12英寸以内样品测试
8. VCSEL/LD/LED/PD的IV/CV特性测试
9. 精密丝杆传动结构，线性移动
10. 器件的高频特性测试（大至300GHz频率）
主要技术指标
型号 | LS-WPS150-TEC | LS-WPS200-TEC | LS-WPS300-TEC | |||
外形 | 860mm长* 850mm宽* 700mm高 | 880mm长* 860mm宽* 750mm高 | 1400mm长* 920mm宽* 920mm高 | |||
重量 | 约150公斤 | 约170公斤 | 约250公斤 | |||
电力需求 | 220VC, 50~60Hz | |||||
样品台 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋转 | 8英寸，可360度旋转 | 12英寸，可360度旋转 | ||
行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12*12英寸 | |||
移动精度 | 1um | |||||
切换样品功能 | 样品台快速拉出 | |||||
样品固定方式 | 真空吸附 | |||||
电学运用 | 电学独立悬空，可作为背电极使用 | |||||
针座平台 | 规格 | O型平台，多可以放置8个针座 | O型平台，多可以放置10个针座 | O型平台，多可以放置12个针座 | ||
行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程6mm，并带自动锁定功能；可以上下微调，行程25mm，升降精度1um | |||||
温控特性 | 温度范围 | -100~200℃ | -80~200℃ | -60~200℃ | ||
温控精度 | 温度分辨率：0.01℃ | |||||
加热电源 | LVDC低压直流 | |||||
低控温速率 | ±0.1℃/小时 | |||||
制冷方式 | 液氮制冷 | |||||
光学特性 | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm | ||||
切换镜头方式 | 显微镜气动升降 | |||||
放大倍数 | 16~100X/20~4000X | |||||
镜头规格 | 目镜：10X; 物镜：5X, 10X, 20X, 50X, 100X （选配） | |||||
CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | |||||
点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||||
机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | |||||
漏电精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱时） | |||||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口 | |||||
应用方向 | 高低温环境下，LD/LED/PD测试，PCB/封装器测试，射频测试等
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