22S型 双向质量流量控制器

抗腐蚀型;量程-0.5SCCM～0.5SCCM到-5000SLPM～5000SLPM,100:1量程比，内置128种气体，100ms响应，优于1%精度

美国ALICAT 22S系列双向型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。22S系列双向型质量流量控制器可通过定制化的高速比例调节阀，正向或反向精确测量与控制过程气体的质量流量、体积流量和压力。采用双阀门设计模式，一台阀门专门用于控制进气、另一台用于排气，实现了仅用一台设备便可同时控制开放式或密闭容器内上游、下游端流量，以及正压、背压，并可用于腐蚀性介质。

产品特点 ：

● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制:体积流量、质量流量和压力
● 可选高精度：优于0.5%
● 高量程比 100:1
● 响应时间快 仅需100ms(可调)
● 内置128种常规以及腐蚀性气体
● 可现场标定混合气体（zui多5种成分），并存储20种混合气
● 可适用于诸多腐蚀性气体

技术参数 ：

介质要求：洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可

介质种类：内置了128种气体，请参考背面气体兼容表一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量程：从-0.5SCCM～0.5SCCM 到-5000SLPM～5000SLPM

量程比：100:1

zui大显示流量：-*FS～*FS

显示屏：带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-双向满量程

高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备

重复性：± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm

响应时间：100ms(可调) 预热时间：<1s

标定工况：25ºC & 100kPa 绝压、20ºC & 100kPa、绝压0ºC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)

工作温度：-10 ～ +50 ºC

工作湿度：0-*,无冷凝

标准zui大工作压力：1MPa 表压

标准极限耐压：1.2MPa 表压

中压选项：2MPa

数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度

供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)

供电电流：250mA ～ 750mA

电气接口：8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头

材质：316L不锈钢、303不锈钢, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根据特殊气体选用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

安装方式：对位置无要求 防护等级：IP40

* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及

供电电流需咨询我们

产品选型 ：

应用及案例 ：

● 大学/研究所
● 环境监测
● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑
● 汽车制造
● 计量
● 过程工艺气体测量