22系列 ALICAT 22系列 双向质量流量控制器

量程-0.5SCCM～0.5SCCM到-3000SLPM～3000SLPM,200:1量程比，内置98种气体，100ms响应，优于1%精度

美国ALICAT 22系列双向型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。22系列双向型质量流量控制器可通过定制化的高速比例调节阀，正向或反向精确测量与控制过程气体的质量流量、体积流量和压力。采用双阀门设计模式，一台阀门专门用于控制进气、另一台用于排气，实现了仅用一台设备便可同时控制开放式或密闭容器内上游、下游端流量，以及正压、背压。

产品特点 ：

● 数字化产品，双向流量控制
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制:体积流量、质量流量和压力
● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
● 可选高精度：可优于0.5%
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需100ms(可调)
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（zui多5种成分），并存储20种混合气

技术参数 ：

介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类：内置了98种气体，请参考“产品资料下载”气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量程：从-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
zui大显示流量：-*FS～*FS
显示屏：带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-双向满量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配
仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备
重复性：± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm
响应时间：100ms(可调) 预热时间：<1s
标定工况：25ºC & 100kPa 绝压、20ºC & 100kPa 绝压、0ºC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)
工作温度：-10 ～ +50 ºC
工作湿度：0-*,无冷凝
标准zui大工作压力：1MPa 表压
标准极限耐压：1.2MPa 表压

中压选项：2MPa
数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度
供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)
供电电流：250mA ～ 750mA
电气接口：8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头
材质：302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝
黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃
安装方式：对位置无要求 防护等级：IP40
* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及
供电电流需咨询我们

产品选型 ：

选项及配件 ：

●标准性能
多功能数字显示屏
显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
低压损
无需预热
Viton密封
8针mini-DIN电信号接口
标准圆形电源接口
RS-232多点式数字信号输入&输出
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA 多种模拟信号输入&输出可选
可调节PID算法
内置30种气体可选
200:1 量程可调比
NPT接头
有条件的终身质保
●可选性能
累加器
6针、DB9或DB15电信号接口
ProfiBUS数字信号输出
RS-485数字信号输出
第二种模拟信号输出
远程显示屏
EPDM密封
NeSSI本体
氧气清洁
SAE接头
VCR, VCO接头
5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
额外标定点
定制混个气体（zui多4种）
不锈钢阀门
集成式电位计控制

应用及案例 ：

● 大学/研究所
● 环境监测
● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑
● 半导体
● 汽车制造
● 光伏
● 燃料电池
● 计量
● 过程工艺气体测量