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FT9500 X射线荧光镀层厚度测量仪

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X射线荧光镀层厚度测量仪 FT9500系列

1. 薄膜・多层膜测量
2. 异物分析
3. 数据编辑功能
4. 高强度照射

详细信息 在线询价

 

X射线荧光镀层厚度测量仪 FT9500系列

1. 薄膜・多层膜测量

X射线荧光镀层厚度测量仪 FT9500系列通过采用新型的毛细管(X射线聚光系统)和X射线源,把与以往机型FT9500同等强度的X射线聚集在30 µmΦ的极微小范围。因此,不会改变测量精度即可测量几十微米等级的微小范围。
同时,也可对几十纳米等级的Au/Pd/Ni/Cu多镀层的各层膜厚进行高精度测量。

2. 异物分析

X射线荧光镀层厚度测量 FT9500系列通过高能量微小光束和高计数率检测器的组合,可进行微小异物的定性分析。利用CCD摄像头选定样品的异物部分并照射X射线,通过与正常部分的能谱差进行异物的定性分析(Al~U)。

3. 数据编辑功能

X射线荧光镀层厚度测量 FT9500系列配备了Microsoft® Excel和Microsoft® Word。在Microsoft® Excel上面配备了统计处理软件,可以进行测量数据、平均值、zui大/zui小值、C.V.值、Cpk等的统计处理。 另外,通过Microsoft® Word可以简单的制作包含了样品画图的测量报告书。

4. 高强度照射

X射线荧光镀层厚度测量 FT9500系列X射线荧光镀层厚度测量 FT9500系列通过高强度照射在微小部分也可以鲜明的观察、聚焦位置。

5. 样品工作台

X射线荧光镀层厚度测量 FT9500系列配备等同与FT9550X的大型样品台,能够对大型线路板等样品进行整体排列测量对应。

型号FT9500FT9550FT9500L
测量元素Al(13)~Bi(83)
X射线源管电压:50(可变更)kV
管电流: 10~1000 µA
检测器半导体检测器(无需液氮)
X射线聚光聚光导管方式
样品观察CCD摄像头(带变焦功能)
对焦激光对焦
滤波器一次滤波器:3个位置(自动切换)
样品区域X:240mm, Y:175mm
X:220mm, Y:150mm, Z:150mm
X:420mm, Y:330mm
X:400mm, Y:300mm, Z:50mm
X:840mm, Y:540mm
X:400mm, Y:300mm, Z:50mm
测量软件薄膜FP法(zui大5层、10种元素)、检量线法、块体FP法(材料组成分析)
安全功能样品门联锁

选购项

  • 电镀液分析(块体标准曲线)
  • 能谱匹配软件(材料辨别)
  • 扫描(强度面分析多点表示)软件

惠州市华高仪器设备有限公司

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