所 在 地:英国
技术参数
(1) 类型: CCI 干涉(相干相关干涉)
(2) 分辨率: 0.1 A
(3) 测量点数: 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
主要特点
•的相干相关算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒测量时间
•RMS重复性:
Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI(技术的相干相关算法)干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸,并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件,半导体器件,光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。
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