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TF200-XNIR 白光干涉测厚仪
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具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 广州贝拓科学技术有限公司
- 品牌
- 型号 TF200-XNIR
- 所在地 广州市
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2020/11/9 10:54:56
- 访问次数 1161
联系方式：周小姐 13902260574,135701 查看联系方式
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TF200白光干涉测厚仪利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。TF200根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜，还可以测量n和k值。
TF200-XNIR白光干涉测厚仪
产品特点
快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高
应用案例
TF200白光干涉测厚仪应用领域
半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等） LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等) LED (SiO2、光刻胶ITO等）
触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等) 汽车(防雾层、Hard Coating DLC等） 医学（聚对二甲苯涂层球囊/*壁厚药膜等）
型号 | TF200-VIS |
| TF200-DUV | TF200-XNIR |
波长范围 | 380-1050nm | 190-1100nm | 900-1700nm | |
厚度范围 | 50nm-40um | 1nm-30um | 10um-3mm | |
准确度1 | 2nm | 1nm | 10nm | |
精度 | 0.2nm |
| 0.2nm | 3nm |
入射角 | 90° |
| 90° | 90° |
样品材料 | 透明或半透明 |
| 透明或半透明 | 透明或半透明 |
测量模式 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 | |
光斑尺寸2 | 2mm | 2mm | 2mm | |
是否能在线 | 是 |
| 是 | 是 |
扫描选择 | XY可选 | XY可选 | XY可选 |
注：1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。
2.可选微光斑附件。
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