bruker NPFLEX 布鲁克（原Veeco）光学轮廓仪 NPFLEX

NPFLEX是Bruker公司于2010年推出的一款可针对各种复杂形状样品进行表面测量的仪器。光学轮廓仪是一种非接触式光学轮廓仪，它使用两种技术来测量表面高度。一种是相位漂移干涉计（PSI）模式，它可以测量光滑表面；另一种是垂直扫描干涉计（VSI）模式，它可以测量粗糙表面和台阶。

由于航空铸造零件上，具有很多过渡曲面，采用探针式测量方法有很多的局限性。一是某些区域探针很难进入里面进行测量；二是探针式测量方法的精度达不到测量的要求。而采用白光干涉的测量方法只要光能入射并反射回来就可进行测量，不管是对曲面还是直面均可进行快速、高精度、高重复性测量