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IQM-233 薄膜沉积控制器 PCI-Express 卡

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具体成交价以合同协议为准

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功能

  • PCI Express
  • 三个传感器输入,三个控制输出
  • 在 PC 中安装多个卡
  • 多源共沉积
  • 易于进行 PLC 集成以增加 I/O 功能
  • 使用方便
  • 物有所值

规格

类型 IQM-233
PC 接口 PCIe x1 - PCE Express Slot
(Std or SFF)
传感器输入和性能  
探头输入 3
连接器 SMA - Includes one SMA/BNC adapter
频率分辨率 (1) ±0.10 Hz @ 6 MHz
测量频率范围 Adjustable:
4.0 MHz minimum
6.1 MHz maximum
厚度和速率分辨率/测量 (2) ±0.12 Å
测量周期 0.1 to 2.0 s (adjustable)
输出  
源输出 3
连接器 15-pin high density D-sub
信号 0 to +/- 10 V (dc)
分辨率 15 Bit Plus Sign
阻抗 50 Ω
(1) 0.25 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6 赫兹,0.25 秒测量间隔

零件号

IQM-233
零件号 明细
782-IQM-233-G1 用于标准 PCI Express 插槽的 IQM-233 QCM 控制器卡
782-IQM-233-G2 用于小尺寸架构 (SFF) PCI Express 插槽的 IQM-233 QCM 控制器卡
782-IQS-233 IQS-233 共沉积软件

附件

名称 说明
前装式单传感器
前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器
薄型双传感器
UHV 可烘烤传感器
溅射传感器
Easy Rate Single Sensor
零件号 明细
Oscillator kits (包括振荡器和电缆)
783-500-109-10 3 米(10 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 3 米(10 英尺)BNC 电缆
783-500-109-25 7.6 米(25 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆
783-500-109-50 15.2 米(50 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆
783-500-109-75 22.8 米(75 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆
Oscillator Only (未随附电缆)
783-500-013 仅 OSC-100 振荡器(无电缆)
Cables
600-1441-P1 SMA 至 BNC 适配器,用于 IQM-233 传感器输入
782-902-011 15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆,公型/母型
782-902-012-10 3 米(10 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-25 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-50 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-75 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆,公型/公型

耗材

名称 说明
石英监控器晶体

手册

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