XTC/3 薄膜沉积控制器

功能

• 提供有单层和多层型号
• ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
• 支持 INFICON Crystal 12^®、Crystal Six^® 及双传感器自动晶体转换，从而大化生产力
• XTC/3M 多层型号多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源
• XTC/3S 单层型号多支持 9 种薄膜、2 个传感器和两种源
• 易于阅读的 TFT LCD 图形显示器
• 可以为薄膜和过程分配的描述性名称，以便于检索
• 提供以太网连接
• 独立式（不需要计算机）或便于 PC 操作的可选 Windows^® 软件
• 插拔式替换 INFICON XTC/2 控制器（受限于 XTC/2 功能和命令集）

典型应用

• 光学镀膜

新闻

XTC/3 前面板已根据 INFICON
公司的新标准进行重新设计。

XTC/3M 是款带有此新设计的薄膜产品并
已装配在当前销售的新产品中。XTC/3S 的新型前面板设计
将于 2013 年末开始发货。其他薄膜产品的前面板
将在 2014 年和 2015 年进行更新。

规格

类型		XTC3/S	XTC3/M
频率分辨率		±0.028 Hz @ 6 MHz	±0.028 Hz @ 6 MHz
测量频率范围		6.0 to 5.0 MHz (fixed)	6.0 to 5.0 MHz (fixed)
测量周期		0.25 seconds	0.25 seconds
厚度和速率分辨率/测量 (1)		±0.034 Å	±0.034 Å
测量技术		ModeLock	ModeLock
过程数量		1	99
层数		1	999
材料计划（或薄膜）数量		9	32
传感器输入数量		2	2
CrystalSix / Crystal 12 传感器支持		Yes	Yes
支持 XTAL 2 开关		Yes	Yes
来源输出数量		2	2
计算机通信		RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional	RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
大 RS232 波特率		115.2 KBaud	115.2 KBaud
自动晶体转换		Yes	Yes
继电器数量		12, Not Event Assignable	12, Event Assignable
可编程继电器功能数量		1	1
每个继电器的功能		1	1
继电器额定电压		30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps	30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
输入数量		8 TTL, 24VDC Max	8 TTL, 24VDC Max
可编程输入功能数量		1, Not Event Assignable	1, Event Assignable
记录器输出数量		1	1
手动电源 / 手持控制器		Yes	Yes
排气管风扇		No Exhaust Fan	No Exhaust Fan
测试模式		Yes	Yes
闸门延迟		Yes	Yes
二次成型模具		Yes	Yes
外壳尺寸		half rack, 2U high	half rack, 2U high
速率和厚度显示分辨率		0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A	0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
通过输入选择膜		Yes	No
用户指南语言		English, Chinese	English, Chinese
控制环路		PID	PID
用于从 PC 操作的软件		Yes	Yes
数据记录		Yes	Yes
质量和稳定性功能		Yes	Yes
采样保持 (RateWatcher™)		Yes	Yes
坩埚选择		Yes	Yes
坩埚反馈输入		Yes	Yes
选择控制电压极性		Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution	Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
程序锁定码		Yes	Yes
带图形的显示器		Yes	Yes
用户标记过程（手机式字母数字输入）		No	No
用户标记膜（手机式字母数字输入）		No	No
传输传感器控制		Yes	Yes
XTC/2 RS232 通信兼容性		Yes (limited)	Yes (limited)

附件

名称	说明
	前装式单传感器
	前装式双传感器
	炫酷抽屉单传感器
	炫酷抽屉双传感器
	薄型双传感器
	UHV 可烘烤传感器
	溅射传感器
	CrystalSix® 传感器
	Crystal 12® 传感器
	Easy Rate Single Sensor
	RSH-600 旋转式传感器

零件号	明细
780-700-G1	Ethernet Module, XTC/3
755-262-G1	Handheld Power Controller
780-702-G1	单件机架安装套件 – 提供将单台 XTC/3 安装到标准 19 in. 机架上需要的所有材料
780-702-G2	两件机架安装套件 – 提供将两台 XTC/3 并排安装到标准 19 in. 机架上需要的所有材料
779-220-G1	CrystalTwo 开关，15.2 cm (6 in.) BNC 电缆
779-220-G2	CrystalTwo 开关，50.8 cm (20 in.) BNC 电缆
Oscillator kits	（包括振荡器和电缆）
780-611-G15	带 5 ft. (4.6 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-611-G30	带 30 ft. (9.1 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-611-G50	带 50 ft. (15.2 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-611-G100	带 100 ft. (30.5 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G15	带 15 ft. (4.6 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC（XIU 至馈入件）电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G30	带 30 ft. (9.1 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC（XIU 至馈入件）电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G50	带 50 ft. (15.2 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC（XIU 至馈入件）电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G100	带 100 ft. (30.5 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC（XIU 至馈入件）电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G15	带 15 ft. (4.6 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC（XIU 至馈入件）电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G30	带 30 ft. (9.1 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC（XIU 至馈入件）电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G50	带 50 ft. (15.2 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC（XIU 至馈入件）电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G100	带 100 ft. (30.5 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC（XIU 至馈入件）电缆 – 与 XTC/3 结合使用
Oscillator Only	（未随附电缆）
780-600-G1	XTC/3 XIU（振荡器）- 用于长度为 6 in. 至 72 in.（15 cm 至 183 cm）的 XIU 至传感器头部电缆
780-600-G2	XTC/3 XIU（振荡器）- 用于长度为 118 in. 至 157 in.（3 m 至 4 m）的 XIU 至传感器头部电缆
Cables
755-257-G6	15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆，XIU 至真空馈入件
600-1261-P15	4.6 米（15 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P30	9.1 米（30 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P50	15.2 米（50 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P100	30.5 米（100 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU

耗材

名称	说明
	石英监控器晶体

手册

手册

目录

其他文件