功能
规格
类型 | STM-2 | |
---|---|---|
传感器输入 | One | |
兼容传感器 | Non-shuttered single QCM sensor | |
传感器输入 | Female BNC | |
测量频率范围 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | |
频率分辨率 | ±0.03 Hz at 6 MHz | |
测量间隔 | 0.10 s | |
参考频率稳定性 | ±2 ppm | |
厚度和速率分辨率/测量 | ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz | |
厚度显示分辨率 | 1 Å (display on software only) | |
接口 | USB v1.1 or later capable of providing 400 mA, 5 V (dc) | |
尺寸 | 11.4 x 7.5 x 2.5 cm (4.5 x 3 x 1 in.) | |
重量 | 57 g (2 oz.) | |
计算机要求 | Any PC running Windows 2000, XP, Vista, 7, or 8 with one available USB 1.1 (or later) port for each STM-2 |
零件号
STM-2 | |
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零件号 | 明细 |
STM-2 | STM-2 USB 薄膜速率/厚度监测仪 |
附件
名称 | 说明 |
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前装式单传感器 | |
炫酷抽屉单传感器 | |
UHV 可烘烤传感器 | |
ALD 传感器 | |
溅射传感器 | |
Easy Rate Single Sensor |
耗材
名称 | 说明 |
---|---|
石英监控器晶体 |
手册
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