MX63/MX63L MX63/MX63L 半导体/FPD检查显微镜

MX63和MX63L显微镜系统支持检测尺寸达300毫米的晶圆、平板显示器、印刷电路板以及其他样品的质量。这些符合人体工学设计的人性化系统采用模块化设计，可在各种应用中实现*观察条件。结合奥林巴斯Stream图像分析软件使用时，从观察到生成报告的整个检测流程更简洁直观。

满足电子行业需求

功能性

为满足电子行业的人体工学和安全性要求而设计的附加功能以增强分析能力

人性化

简洁的显微镜设置使用户调整和再调用系统配置变得更为轻松。

*的成像技术

我们成熟可靠的光学器件和优良的成像技术可获得清晰图像，并完成可靠检测。

模块化

用户可通过选择适合其应用的模块进行系统定制。

*的分析工具

MX63系列的各种观察功能可生成清晰的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新
照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结
果提供更多选择。

从不可见到可见：MIX观察与采集
通过暗场与明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用，MIX观察技术能够获得特殊的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以观察的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕，有助于观察样品的表面纹理。

从基本测量到高级分析

测量对于品质、工艺控制和检测非常重要。基于这一想法，即便入门级奥林巴斯Stream软件包也包括交互测量功能的全部菜单，并且所有测量结果与图像文件一起保存以便日后调用文档。此外，奥林巴斯Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供直观的工作流界面。点击按钮，图像分析任务即可快速精准完成。可大幅度缩减重复性任务的处理时间，使操作人员的精力集中在检测工作上。

高效的报告创建
创建报告所用的时间常常比采集图像和测量还长。奥林巴斯Stream软件提供了直观的报告创建功能，能够根据预先设定的模板多次创建专业复杂的报告。编辑非常简单，报告可导出为MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奥林巴斯Stream报告功能能够对采集的图像进行数码变焦和倍率放大。报告文件大小适中，通过电子邮件进行数据传递更加方便。

独立相机选项
测量对于品质、工艺控制和检测非常重要。基于这一想法，即便入门级奥林巴斯Stream软件包也包括交互测量功能的全部菜单，并且所有测量结果与图像文件一起保存以便日后调用文档。此外，奥林巴斯Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供直观的工作流界面。点击按钮，图像分析任务即可快速精准完成。可大幅度缩减重复性任务的处理时间，使操作人员的精力集中在检测工作上。使用DP22或DP27显微镜相机的MX63系列是一套*的独立系统。该相机采用几乎不占空间的紧凑型控制盒控制，在采集清晰图像以及进行基本测量工作的同时让实验室空间得到充分利用。

直观的显微镜控制：舒适且使用方便

显微镜设置操作简单，让用户调整和再调用系统配置更加轻松。

为质量检验提供精细的光学性能和数码成像技术

奥林巴斯研发高质量光学器件和*数码成像技术的悠久历史成就了具有测量精度的
一系列可靠光学器件和显微镜。