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北京恒奥德直电阻真空计原理校准方法

关 键 词
电阻真空计,真空计
资料类型
doc
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73
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2021年01月07日 18:22
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北京恒奥德仪器仪表有限公司
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资料简介

  电阻真空计即采用电阻技术的真空计,一般先校准零点,再进行满度校准。
 
  原理
 
  Pirani皮拉尼真空计构造如图所示。金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立
 
  Q = I2R = Qg Qr Qs (1)
 
  Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。
 
  气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为
 
  Qg = αΛπda(T-T0)p (2)
 
  如图所示,T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。 剩下的Qs和Qr可以分别表示如下
 
  Qs = Sκ(T-T0)/L (3)
 
  Qr = πdaσε(T4-T04) (4)
 
  (3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,L是电极的长度。
 
  (4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为
 
  I2R = Ap I02R (5)
 
  A = αΛπda(T-T0) (6)
 
  I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。A式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。
 
  电阻真空计的
 
  校准
 
  一般先校准零点,再进行满度校准。
 
  (1)校准零点。校准零点需对被测真空系统抽真空,一旦电离规测得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9 X10^-2Pa),按"校零"按钮,对应指示灯亮或快速闪烁,真空计自动校正零点,当显示1.0^-1Pa时,表示规管零点已校准。对于无自动零点校准的电阻真空计,可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。
 
  (2)满度校正。校准完零点后,需对其满度校正。按满度校正过程要求,对被测炉腔放人大气,确保被校电阻规所测位置为大气状态,在大气压下工作约10分钟。按"满度"按钮,对应指示灯亮或快速闪烁,真空计自动校正满度,当显示1.0^5 Pa时,表示规管满度已校准。对于无自动满度校准的电阻真空计,可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。

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