俄歇电子能谱的特点及组成
【仪器网 产品文库】俄歇电子能谱简称AES,是一种表面科学和材料科学的分析技术。
组成
俄歇能谱仪包括电子光学系统、电子能量分析器、样品安放系统、离子枪、超高真空系统。以下只介绍核心的电子光学系统和电子能量分析器。
俄歇电子能谱特点
1、俄歇电子的能量是靶物质所*的,与入射电子束的能量无关。右图是一些主要的俄歇电子能量。可见对于Z=3-14的元素,突出的俄歇效应是由KLL跃迁形成的,对Z=14-40的元素是LMM跃迁,对Z=40-79的元素是MNN跃迁。大多数元素和一些化合物的俄歇电子能量可以从手册中查到。
2、俄歇电子只能从20埃以内的表层深度中逃逸出来,因而带有表层物质的信息,即对表面成份非常敏感。正因如此,俄歇电子特别适用于作表面化学成份分析。
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