徕卡共聚焦显微镜扫描电镜的使用

扫描电镜的使用

徕卡共聚焦显微镜的电镜操作使用相对比较简单。但是要得到满意的结果，同样要认真对待。首先要注意样品的制备，尤其是生物医学样品的制备更是—项专门而复杂的技术。对有些非导电样品，为防止其充电造成图像假象，须要在表面蒸涂一定的金属导电层。因此如何掌握喷蒸条件也是应该注意的。

除样品制备外，将电镜调整在良好状态也是重要的一环。和透射电统一样，电镜对中是调整工作的*步，其次就是对有关物理量的正确选用。

1．末光阅和工作距离一当样品表面祖循而且要求使用低放大倍数时，可以用小孔径的末光闹和长工作距离。因为这样可以得到长景深。此时为保证足够的信号强度，可适当减小聚光镜电流以加大束流。徕卡共聚焦显微镜在高放大倍数下，只要对分辨率要求不太高，可选用大孔径光阑和短工作距离。为提高分辨率，则必须减小末光阑的孔径。

2．加速电压一加速电压的选择主要决定于样品的特性，而与所用的放大倍数关系不大除特殊情况外一般可选用20kv甚至10kv档电压。降低电压可提高衬度。但必须以牺牲分辨率为代价。如样品有明显充电，则应把加速电压降到10kv以下。

3．在徕卡共聚焦显微镜观察下的样品的倾角一在二次电子成象模式中，样品应有一定倾角，一般以30°为宜。对于特别平坦的表面以采用大于45°为好。当要求观察样品上的茸毛或垂直于表面的凸出物时，倾角应接近90°。

在高分辨工作中，尤其要认真选择聚光镜激励电流的强弱和末光阑孔的大小。既要保证一定束流以压缩图像中的噪声，又要使样品处电子束的孔径角和柬斑不致太大。在高分辨工作中，尤其要认真选择聚光镜激励电流的强弱和末光阑孔的大小。既要保证一定束流以压缩图像中的噪声，又要使样品处电子束的孔径角和柬斑不致太大。

除工作条件的选择外，徕卡共聚焦显微镜电镜的使用还包括对功能的选择。扫描电镜除主机用于二次电子像的观察分析外，常常还可加配许多附件，利用样品发出的其他信号进行分析。前面提到的背散射电子成像单元就是一种基本的附件。此外还有，用于对样品作元素分析的x射线分析仪（包括波谱仪）；用于分析半导体样品的各种感生电信号功能附件，包括样品电流像、电子束感生电动势像和感生电流像的显示单元等；有用于研究发光物质的阴极荧光单元，包括阴极荧光像和阴极荧光光谱分析等，尤其是有机材料的阴极荧光技术在生物学和医学研究中有较多应用。

扫描电镀和其他仪器的组合也是当前的一个重要方向。徕卡共聚焦显微镜的扫描电镜和透射电镀结合形成的扫描式透射电子显微镜（sTEM），当采用场发射电子枪和加配电子能量损失谱仪后，便是一种很好的高分辨分析仪器。扫描电镜和俄歇（Au8er）电子能量分析仪的结台可使表面显微分析更有成效。环境扫描电镀实际上是一种背散射电子模式的低真空扫描电镜，它可以直接观察接近自然条件下的样品、包括某些引起生物和矿物材料的动态变化过程。此外扫描电子镜式显微仪和电子束刻蚀加工设备等也日益引起更多人的关注。

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