X射线光电子能谱仪的优缺点
X射线光电子能谱仪的优缺点
X射线光电子能谱仪(XPS)是一种*的表面分析技术,它利用X射线激发样品表面元素的内层能级电子信号,再用电子能谱仪检测光电子的动能及强度,进而确定元素的种类及价态等信息,主要用于研究材料极表面的元素及元素不同价态组成。本文将介绍XPS的优缺点。
XPS的优点
1、能快速、同时对除H和He以外的所有元素进行元素定性、定量分析,几分钟内就可完成;可以直接测定来自样品单个能级光电发射电子的能量分布,且直接得到电子能级结构的信息。
2、对试样与探测器的几何位置要求低:对W.D的要求不是很严格;可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。
3、能谱所需探针电流小,是一种无损分析。对电子束照射后易损伤的试样,例如生物试样、快离子试样、玻璃等损伤小。
4、是一种高灵敏超微量表面分析技术。分析所需试样约8-10g即可,灵敏度高达10-18g,样品分析深度约2nm。
XPS的缺点
1、分辨率低,比X射线波长色散谱仪的分辨率(~10电子伏)要低十几倍;
2、峰背比低(约为100),比X射线波长色散谱仪的要低10倍,定量分析尚存在一些困难;
3、Si(Li)探测器必须在液氮温度下保存和使用,因此要保证液氮的连线供应;
4、不能分析Z小于11的元素,分辨率、探测极限以及分析精度都不如波谱仪。因此,它常常跟波谱仪配合使用。
(本文来源: 仪器网
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