多功能平台聚焦扫描微区Ｘ射线光电子能谱仪

2006年12月一推出多功能平台聚焦扫描微区Ｘ射线光电子能谱仪，立刻受到高校科研单位欢迎。国内用户有 南京大学分析中心 上海师范大学 天津46所。

产品介绍

仪器简介：

2006年12月一推出多功能平台聚焦扫描微区Ｘ射线光电子能谱仪，立刻受到高校科研单位欢迎。

国内用户有   南京大学分析中心    上海师范大学   天津46所

技术参数：

3、仪器主机功能与附件功能 
3.1 单色化XPS，Al Kα，包括： 
大面积XPS、小面积XPS、成像XPS、深度剖析XPS和角分辨XPS。 
3.2 双阳极XPS，Mg/Al Kα 
3.3 紫外光电子能谱，UPS 
3.4 高压反应室 
3.5 分析室样品冷/热台 
4、仪器主要部件 
4.1 超高真空分析室 
180度半球能量分析器， 
电子透镜传输系统， 
１６多通道电子检测器 
分子泵，离子泵，钛升华泵 
单色化XPS （AlKα）系统，含内循环水冷却装置， 
XPS成像系统， 
双阳极XPS系统，冷却循环水和单色化系统共用 
紫外光源， 
荷电中和系统，用于绝缘样品或导电性差的样品的荷电补偿， 
5轴样品台， 
标准样品托 ２个 
Recessed样品托 1个 
氩离子枪，用于深度剖析， 
热双灯丝离子规， 
闭路电视显微彩色摄像系统和SXI成像系统， 
分析室和进样室都有独立光纤照明系统， 
可观察视窗，视窗直径10cm左右, 
样品热/冷台,温度可监测。 
4.2 样品进样室 
机械泵，分子泵 热双灯丝离子规, 
可观察视窗，视窗直径10cm左右。 
空气压缩机一台，国内采购 
4.3 石英高压反应池 
程序控温系统 
真空监测系统 
真空泵系统 
进出气系统,参考南京大学用户设计建议。 
压力 一个大气压 
全石英底座 
密封材料 Byton O-ring 
温度 600度 
远红外线加热控温系统 
单独石英反应器冷却系统 

4 样品磁耦合传输系统 
4.5 真空烘烤系统 
4.6 主机系统集成，减震装置。 
4.7 计算机系统，含数据采集和数据处理软件包。 
4.8 与以上所有系统相关联的电子学控制柜。 

5、仪器主要技术参数与要求 
5.1 仪器主机功能，单色化Al Kα 
5.1.1 大面积XPS 
Ag3d5/2，1400umx100um, FWHM≤1.00eV时，灵敏度≥1,000,000 cps。 
Ag3d5/2，1400umx100um, FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥250,000 cps。 
5.1.2 小面积XPS，小分析面积≤10μm ，性能指标应达到： 
Ag3d5/2，20μm， FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥15,000 cps。 
Ag3d5/2，10μm， FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥4,000 cps。 
Ag3d5/2，10μm， FWHM≤1.00eV时，灵敏度≥12,000 cps。 
Typical value for 100um and 20um at 75degree and 45degree 
75degree 
Ag3d5/2，20μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 99kcps 
Ag3d5/2，100μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 47kcps 
45degree 
Ag3d5/2，20μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 50kcps 
Ag3d5/2，100μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 27kcps 
5.1.3 成像XPS 
单色化X射线扫描成像，空间分辨率≤10 μm。 
5.1.4 深度剖析XPS 
聚焦扫描氩离子枪，当working distance为30 mm时.聚焦氩离子束斑≤150μm，当 
working distance为60mm时候，聚焦氩离子束斑≤300μm束流密度≥0.5 mA/cm2。 
5.2 仪器附件功能 
5.2.1 双阳极XPS，MgKα，Ag3d5/2，FWHM≤1.40eV时，灵敏度≥1,000,000 cps。 
5.2.2 紫外光电子能谱（UPS） 
(a) 光源：He紫外光源，HeI:HeII=3:1 
(b) 性能指标：分辨率（Ag费米边）≤120 meV时，灵敏度（Ag4d）≥2,000,000 cps。 
(c) 小步长：5meV 
5.2.3 高压反应室 
(a) 材质：石英 
(b) 内胆内压强：≥760Torr 
(c) 温度，≥600℃ 
(d) 气体混合仓附计量装置，包括压力表、流量计和针阀等。 
5.2.4 分析室样品冷/热台，温度：170 K–600 K，温度可检测，加热PID控制。 
5.3 仪器主要部件参数与要求： 
5.3.1 能量分析器 
(a) 类型：半球能量分析器 
(b) XPS能量范围： 0–1600 eV（25 meV） 
UPS ：0～320 eV（5 meV） 
5.3.2 超高真空分析室 
(a) SUS材质内表面经过特殊处理 
(b) 真空：小于6.7×10-10 mbar 
5.3.3 样品进样室 
(a) 材质：非磁性不锈钢材料 
(b) 真空：小于6.7×10-9 mba 
5.3.4 深度剖析氩离子枪 
100eV–5keV，连续可调，扫描型。 
5.3.5 荷电中和系统：双枪中和系统。 
5.3.6 样品控制台 
(a) 轴向：5轴， 
(b) 移动：各向移动距离必须与样品台尺寸相匹配，步进步长小于1μm， 
(c) 倾斜：0–90° 
5.3.7 计算机系统 
(a) Pentium IV，CPU主频3.0GHz左右； 
(b) 内存2G, 硬盘250 G； 
(c) ２个DVD/CD-RW Combo光盘驱动器, 
(d) 22" 液晶平板显示器； 
(e) 4个USB2.0接口； 
(f) 100M以上以太网接口，用于数据传输； 
(g) 预装Windows XP正版软件； 
( h ) 预装仪器操作软件和数据分析软件（含新的XPS数据库），附安装软件光盘；

多功能平台聚焦扫描微区Ｘ射线光电子能谱仪的主要特点：

1.扫描微聚焦X-射线source

2.扫描微聚焦X-射线产生的2次电子成像SXI像和XPS成像，可以帮助客户找到肉眼看不见的微观缺陷。

3。可以给出10um XPS sensitivity.其他公司不能。20um 的XPS sensitivity是其他公司同类产品的1倍以上。