OTF-1200X-RTP-II-5 5英寸近距离蒸发镀膜炉（CSS）

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公司名称 合肥科晶材料技术有限公司
品牌
型号 OTF-1200X-RTP-II-5
所在地 合肥市
厂商性质 生产厂家
更新时间 2017/1/5 11:10:54
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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模内浇口分离自动化，降低对人的依赖度；传统的塑胶模具开模后产品与浇口相连，需二道工序进行人工剪切分离，模内热切模具将浇口分离提前至开模前，消除后续工序，有利于生产自动化，降低对人的依赖。

产品简介

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OTF-1200X-RTP-II-5是一款快速热处理炉，其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门实际针对于热蒸发或CSS（Close Spaced Sublimation）镀膜实验，其镀膜面积可达到5“x5“。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管（分别位于顶部和底部），zui大升温速率为20ºC/s 。

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OTF-1200X-RTP-II-5是一款快速热处理炉，其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门实际针对于热蒸发或CSS（Close Spaced Sublimation）镀膜实验，其镀膜面积可达到5"x5"。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管（分别位于顶部和底部），zui大升温速率为20ºC/s 。采用PID方式进行温度调节，可设置30段升降温程序。仪器面板上安装有RS485接口，可配用控制软件将升温程序和温度曲线都导入到电脑中。对于探索新一代的薄膜太阳能电池，如CdTe、硫化物和钙钛矿结构太阳能电池,这是一款理想的实验工具.

技术参数

炉体结构和真空腔体	采用两个温度控制器，分别控制顶部和底部两组加热元件。安装有浮子流量计，可向真空腔体中通入气体真空腔体为一高纯的石英管，其尺寸为：11" OD/10.8" ID x 9" Hmm
真空法兰 (点击图片查看详细资料）	真空法兰为316不锈钢制作顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，用机械泵其腔体内真空度可达10^-2 torr，用分子泵其腔体内真空度可达10^-4torr.
加热元件和载样台	由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节，调节范围为：2-50mm 为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中，（不锈钢壳体采用316不锈钢制作）采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性底部载样台上可放入5"x5"的石墨坩埚来盛放蒸发原料此款仪器使用时需要配用一循环水冷机（16L/m)
温控系统	两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序每个温控系统都带有超温和断偶保护 PC通讯接口，软件可安装，可将控温程序和温度曲线导入到电脑中控温仪表操作视频
工作温度	zui高工作温度为：800℃ 两个加热区之间的zui大温差为300℃
加热和冷却速率	加热速率> 8ºC/s（每个温区单独加热）冷却速率> 10ºC/s (600 - 100ºC)
热电偶	两个K型热电偶，安装在顶部和底部，都与氮化铝陶瓷片相接触
工作电压	208 - 240VAC, 单相,（需要20A的空气开关）
功率	3000W
可选	实验时需要一个真空泵，可与本公司选购真空泵采用机械泵可使腔体内的真空度达到< = 10E-2 torr 若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境，可换购无油泵也可选购质子流量计混气系统，将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中
质保	一年质保期，终生维护（不包括密封圈、加热元件和石英管）
使用注意事项	炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）