薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量，对单层...
NanoCalc 薄膜反射测量系统
薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量，对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同，可以分析单层或多层膜厚。
的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。
技术参数
| 入射角 | 90° |
| 层数 | 3层以下 |
| 需要进行参考值测量 | 是 |
| 透明材料 | 是 |
| 传输模式 | 是 |
| 粗糙材料 | 是 |
| 测量速度 | 100ms - 1s |
| 在线监测 | 可以 |
| 公差（高度） | 参考值测量或准直(74-UV) |
| 公差（角度） | 参考值测量 |
| 微黑子选项 | 配显微镜 |
| 显示选项 | 配显微镜 |
| 定位选项 | 6"和12" XYZ 定位台 |
| 真空 | 可以 |
产品特点
查找n和k值
可以进行多达三层的薄膜测量，薄膜和基体测量可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc软件包含了大多数材料的n和k值数据库，用户也可以自己添加和编辑。
应用
NanoCalc薄膜反射材料系统适合于在线膜厚和去除率测量，包括氧化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等。
NC-UV-VIS-NIR 波长范围：250-1100 nm；厚度：10 nm-70 µm；光源：氘卤灯
NC-UV-VIS 波长范围：250-850 nm；厚度：10 nm-20 µm；光源：氘卤灯
NC-VIS-NIR 波长范围：400-1100 nm；厚度：20 nm-100 µm(可选1µm-250µm)；光源：卤灯
NC-VIS 波长范围：400-850 nm；厚度：50 nm-20 µm；光源：卤灯
NC-NIR 波长范围：650-1100 nm；厚度：70 nm-70 µm；光源：卤灯
NC-NIR-HR 波长范围：650-1100 nm；厚度：70 nm-70 µm；光源：卤灯
NC-512-NIR 波长范围：900-1700 nm；厚度：50 nm-200μm；光源：高亮度卤灯*您想获取产品的资料：
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