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牛津二手CMI700铜厚测量仪

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牛津二手CMI700铜厚测量仪

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牛津二手CMI700铜厚测量仪,可测量面铜和孔铜,也可单配一种功能,

 

CMI 700配置包括:

  • CMI 700主机
  • SRP-4探头
  • SRP-4探头替换用探针模块(1个)
  • NIST认证的校验用标准片

选配配件:

  • ETP探头

TRP探头

 

SRP-4面铜探头测试技术参数:


铜厚测量范围:

化学铜:10 μin – 500 μin (0.25 μm – 12.7 μm)

电镀铜:0.1 mil – 6 mil (2.5 μm – 152 μm)

线形铜可测试线宽范围:8 mil – 250 mil (203 μm – 6350 μm)

 

准确度:±1% (±0.1 μm)参考标准片

精确度:化学铜:标准差0.2 %;电镀铜:标准差0.5 %

分辨率:0.01 mils 1 mil, 0.001 mils <1 mil,

0.1 μm 10 μm, 0.01 μm < 10 μm, 0.001 μm < 1 μm

 

 

ETP孔铜探头测试技术参数:


可测试最小孔直径35 mils (899 μm)

测量厚度范围:0.08 – 4.0 mils (1 – 102 μm)

电涡流原理:遵守ASTM-E376-96标准的相关规定

 

准确度:±0.01 mil (0.25 μm) < 1 mil (25 μm)

精确度:1.2 mil30μm)时,达到1.0% (实验室情况下)

分辨率:0.01 mils (0.1μm)

 


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