半导体晶圆拉曼光谱测试系统
参考价 | ¥ 0.01 |
订货量 | ≥1件 |
- 公司名称 北京卓立汉光仪器有限公司
- 品牌
- 型号
- 所在地 北京市
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/5/10 10:51:52
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半导体晶圆拉曼光谱测试系统具有自动对焦和实时表面跟踪功能,无需样品标记,可进行无损非接触式测量,空间分辨率<1μm。系统可以对第三代半导体进行组分、应力、载流子浓度、结晶度和缺陷进行检测,广泛地应用于半导体材料的质量监控、失效分析。
半导体晶圆拉曼光谱测试系统R1——应力、组分、载流子浓度
拉曼激发和收集模块 | 激光波长 | 532 nm |
激光功率 | 100 mW | |
自动对焦 | •在全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪 •对焦精度<0.2微米 | |
显微镜 | •用于样品定位和成像 •100x,半复消色差物镜 •空间分辨率<2微米 | |
拉曼频移范围 | 80-9000 cm-1 | |
样品移动和扫描平台 | 平移台 | •扫描范围大于300x300mm。 •最小分辨率1微米。 |
样品台 | •8寸吸气台(12寸可定制) •可兼容2、4、6、8寸晶圆片 | |
光谱仪和探测器 | 光谱仪 | •320 mm焦长单色仪,接面阵探测器。 •分辨率<2.0 cm-1。 |
软件 | 控制软件 | •可选择区域或点位自动进行逐点光谱采集 |
Mapping数据分析软件 | •可对光谱峰位、峰高和半高宽等进行拟合。 •可自动拟合并计算应力、晶化率、载流子浓度等信息,样品数据库可定制。 •将拟合结果以二维图像方式显示。 |
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