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FT1230深能级瞬态谱仪是分析测试半导体材料和器件的掺杂浓度、缺陷能级位、界面态(俘获界面)等半导体性质的重要测试仪器。
Phystech FT1230 HERA-DLTS
High Energy Resolution Analysis Deep Level Transient Spectroscopy
PhysTech FT1230 HERA-DLTS
高能分辨率深能级瞬态谱
PhysTech在1990年推出了台数字DLTS，随着电脑技术的发展，使得在短时间内进行复杂计算成为可能。在纯指数发射过程模型的基础上，用各种数学模型分析测量到的瞬态过程，如傅里叶转换、拉普拉斯转换、多指数瞬态拟合、ITS（等温瞬态光谱）信号重叠法、温度扫描信号重叠法（重折叠）。与其他系统相比，HERA-DLTS具有的能量分辨率。
特 点：
自动接触检查
常规测试和加强软件
自动电容补偿
三终端FET电流瞬态测量
大电容和浓度范围
灵活性高、模块化硬件
支持各种冷却仓和温度控制器
傅里叶转换（F-DLTS），比例窗口和用户自定义校正功能
DLTFS（深层瞬态傅里叶光谱仪）评价
操作模式：
C-DLTS
CC-DLTS
I-DLTS
DD-DLTS
Zerbst-DLTS
O-DLTS
FET-Analysis
MOS-Analysis
ITS（等温瞬态谱）
缺陷分析
俘获截面测量
I/V, I/V(T)
C/V, C/V(T)
TSC/TSCAP
PITS（光子诱导瞬态谱）
DLOS(特殊系统) Fourier 变换, Laplace 变换，指数拟合分析，ITS (等温瞬态谱)，信号重褶皱，温度扫描信号重褶皱.
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