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MDPinline是一种用于快速定量测量载流子寿命并集成扫描功能的检测仪。通过工厂安装的传送带将晶圆片移至仪器,在不到一秒的时间内,就可以“动态”测量出晶圆图。
该仪器本身不使用机械运动部件,因此在连续操作下也非常可靠。它为每个晶圆片提供完整的拓扑结构,这为提高生产线的成本效益和效率提供了新的途径,而这些都是迄今为止的。例如,在不到3个小时的时间内,对10000个晶圆片的拓扑结构进行自动统计评估,结果可以显示出晶体生长炉的性能和材料质量的各种细节。
实时的质量检测可以帮助提高和优化诸如扩散和钝化等处理步骤。在运行的生产过程中,MDPinline可以立即检测到某个处理步骤的任何故障,从而使产品达到的性能。
优势
样品厚度 | 100 μm up to 1 mm |
样品尺寸 | 在125 x 125 和210 x 210 mm² 之间,或 4”到18” |
电阻率 | 0.2 - 10³ Ohm cm |
传导类型 | p, n |
材质 | 硅晶圆,部分或加工的晶圆片,化合物半导体等 |
测量性能 | 少数载流子寿命(稳态或非平衡(μ-PCD)可选择的) |
测量位置 | 默认2.8 mm, 其它可选 |
检测时间 | 获得完整的一张晶圆图时间小于1秒 |
尺寸 | 400 x 400 x 450 mm,重量:29 kg |
电源 | 24 V DC, 4 A |
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