热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻(RTD)组成。一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。当这两个RTD置于被测气体中时，其中传感器RH被加热，另一个传感器RMG用于感应被测气体温度。随着气体流速的增加，气流带走更多热量，传感器RH的温度下降。
直接测量气体的质量，不需要温度、压力补偿的气体流量测量仪表，它代表了气体流量测量的发展趋势。热式气体质量流量计传感器部分由两个基准级铂电阻温度传感器组成，采用桥式环路，一个传感器测量流体温度，另一个传感器为加热元件，维持高于流体温度的恒温差，即气体流过加热元件时将热量带走，带走的热量与气体的流速和气体的密度成正比。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热元件提供更多的功率，电路中输出功率的大小与流体的质量有关，由此测量流量。
热式气体质量流量计由一体式流量转换器、流量传感器组成。按流量传感器的型式分为：插入式和管段式热式气体质量流量计。
热式气体质量流量计应用1、氧气、氮气、氢气、氯气及多组分气体测量。（乙炔气体除外）。2、高炉煤气、焦炉煤气测量。 3、烟道气测量。4、沼气、水处理中的曝气和氯气测量。5、压缩空气测量。6、天然气、液化气、火炬气等气体流量测量。7、电厂高炉的一次风、二次风流量测量。8、矿井下通风或排风系统流量测量。
