微纳尺度加工，百纳米级光刻效果。掩膜版与激光直写两种模式随意切换。
产品型号：
HLG-EX 系列
产品描述：
HLG-EX 系列准分子激光微加工系统是应用于科研 / 工业领域的紫外脉冲激光微加工系统。本系列产品选用深紫外波段的作为加工主体，通过切断化学键方式，对高分子材料、石英、钻石等透光材料有的去除效果，并将热效应降至，使加工精度可以达到微米量级，不产生热影响区和微裂纹。
本产品采用集成化软件控制，可视化窗口可以实时观测加工区域以及加工效果，所见即所得。系统全部硬件都由统一界面进行全程控制，集成度高。该产品面向工业生产和科研应用，适用于不同的应用领域，特别是在眼镜树脂镜片的防伪标识、钻石的腰线标刻、蓝宝石镜面以及其他光学镜片的标刻等方面，有很好的效果。
应用范围：
※ 选择性去除聚合物；
※ 微型钻孔 / 开槽；
※ 微流控芯片；
※ 激光烧蚀进样系统；
※ 树脂镜片防伪标识；
※ 钻石、珠宝标刻；
※ 光学元件微加工；
※ PCB 打孔及微加工。
特点：
1、高速加工：
本机采用小型的，单脉冲能量可达 15 mJ。由于激光器采用的预电离技术，脉冲宽度可以实现 5 ～ 10 ns，使峰值功率大大提高，具有的加工速度和的加工效果。
2、机器视觉：
采用集成化软件对系统所有硬件进行控制，客户可以实现所见即所得。应用高清晰度的 CCD 作为成像元件，并采用自动聚焦的机器视觉系统，客户可以根据软件界面所显示的区域进行加工设置，并能够直接看到加工效果。
3、集成化软件：
自主研发的集成化软件，可以方便地控制系统工作参数和监控工作状态。客户可以自主设计所需加工图样，并生成加工文件。软件驱动系统硬件全自动化进行加工过程，并全程可视。
※ 可视化编程； ※ 用户界面友好、直观；
※ 支持 BMP、DXF、STL 文件格式；
※ 所见即所得，轨迹预览。
选配件：
1、激光器：
（波长308、248、193、157nm可选）
2、位移台：
尺寸50-2000mm，精度从±75nm-10μm可选，气浮、5轴可联动
3、掩膜版：
可定制大尺寸掩膜板、动态掩膜板
4、流水线：
可定制工业流水线、机器人、机械臂
5、自动聚焦：
可定制自动聚焦、自动定位、自动对准、自动识别、图像测量等图像功能
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