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返回产品中心>ME-L穆勒矩阵椭偏仪一、产品介绍:1、超宽的光谱范围:采用氘灯和卤素灯复合光源
基本功能 | 一次性获取穆勒矩阵、Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱 |
光谱范围 | 380-1000nm(210-1650nm可选) |
测量时间 | 1-8s |
入射角范围 | 45-90° |
光斑尺寸 | 2-3mm/200um |
重复性精度 | 0.005nm(100nmSiO2硅片) |
精度 (空气介质) | 椭偏参数:ψ=45±0.05° Δ=0±0.01° |
穆勒矩阵:对角元素m=1±0.005 非对角元素m=0±0.005 | |
分析软件 | 多达数百种光学材料库,支持用户自定义 |
多层各向同性/异性光学薄膜、周期性光栅结构建模仿真与分析功能 |
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