超高精度、高稳定性纳米压痕测试仪UNHT³高精度超纳米压痕测试仪采用真实力传感器和位移传感器，可用于测量材料在纳米尺度下的机械性能
UNHT³ 高精度超纳米压痕测试仪采用真实力传感器和位移传感器，可用于测量材料在纳米尺度下的机械性能。UNHT³ 采用的主动表面参比技术，消除了热漂移和框架刚度的影响。因此，非常适用于对所有类型的材料（包括聚合物、纳米涂层和软组织）进行原子到纳米尺度的长时间测量。
UNHT³ 可测量他人估计的结果：两个独立的位移和载荷传感器可真正可靠地控制力和压入深度。另外，UNHT³ 采用的主动表面参比设计：参考参比针尖记录样品的表面位移位置，同时针尖压痕完成测量，以此扣除热漂移和框架刚度影响。这种的设计支持大范围的压入位移（从几 nm 到 100 μm）和压入载荷（从几 μN 到 100 mN）。
UNHT³ 采用的主动表面参比技术和无热膨胀的 Zerodur 材质，是市面上一款无需任何位移校正且热漂移低至可忽略不计 (10 fm/sec) 的纳米压痕测试仪。凭借的稳定性，UNHT³ 是可用来长期测量蠕变等测试的纳米压痕测试仪。
借助该仪器的热稳定性，样品在安装后即刻便能进行测量，不必等待数小时以便其达到热稳定状态。因此，每天可单独测量许多样品。使用“快速点阵”模式，每小时可通过真实的压痕曲线和 600 多个压痕。另外，用户配置、测量模式、多样品测量和可定制报告也促使其成为市面上高的仪器。
使用集成的“Sinus 动态测量模式”，可以对机械特性进行位移曲线 DMA 分析（HIT、EIT 对比位移），并可测量薄膜到块状材料等样品的粘弹特性（E'、E''：储能和损耗模量、tan δ）。Sinus 动态测量模式还提供其他功能，例如压痕仪快速校正以及应力/应变分析。
| 载荷 [mN] | 50 / 100(1) |
| 载荷分辨率 [nN] | 3 |
| 载荷背底噪声 [rms] [μN] | ≤0.05 |
| 加载速度 [mN/min] | 最多 1000 种 |
| 深度量程 [μm] | 50 / 100(1) |
| 深度分辨率 [nm] | 0.003 |
| 深度背底噪声 [rms] [nm] | ≤0.03 |
| 数据采集频率 [kHz] | 192 |
| 选件 | |
| 加热台的温度可高达 200 °C | ✔ |
| 冷却至 -120 °C (2) | ✔ |
| 液体测试 | ✔ |
(1) 可选
(2) 带环境腔体
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