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- 公司名称 北京科斯仪器有限公司
- 品牌
- 型号
- 所在地 北京市
- 厂商性质 $CompanyTypeName
- 更新时间 2015/12/11 8:00:00
- 访问次数 1194
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MIRA 超大试样室扫描电子显微镜(LC-SEM),是目前世界上zui大的扫描电镜,同时装备多种不同的探测设备(背散射电子成像、EDS、EBSD、FIB、FT-IR)来满足各种需求。不仅可以检查大型零部件的物理特性,还可以评价原材料的化学和结晶体特性。几乎对任何样本都可实现非常准确的,直到在分子层面的一站式检查和分析。
MIRA 超大试样室扫描电子显微镜 (LC-SEM)
LC-SEM试样室有 3 m3、9 m3、12 m3 三种型号,可观察zui大试样尺寸:直径1500毫米、高度1500毫米。真空系统装配有强大的三个真空泵:旋片和转子泵应用于低真空,涡轮增压泵应用于高真空,可实现 10 -6 mbar的高真空。该系统有足够的能力,除去腔室中试样的气体,在45分钟内便可以实现所需的真空度。腔室设置有多层墙体保证了不受任何外部磁场的影响。 |
应用行业
| 应用领域
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LC-SEM 技术规格参数
LC-SEM用户
德国不来梅大学 Universität Bremen
德国汉诺威大学 Umiversitat Hannover
德国亚琛工业大学 RWTH Aachen University
德国埃尔兰根—纽伦堡大学 Friedrich-Alexanqder-Universität Erlangen-Nûrnberg
德国多特蒙德工业大学 TU Dortmund
德国不伦瑞克工业大学 Technische Universität Braunschweig
日本宇宙航空研究开发机构(JAXA)
美国NOVA无损检测中心 设在西肯塔基大学 Nondestructive Analysis (NOVA) Center美国能源部国家核安全管理局的机构 Y-12 National Security Complex
美国*装备部 延克*基地材料实验室 Tinker AFB Materials Laboratory
电子光学 | |
分辨率 | 优于10纳米 |
放大倍数 | 10x – 300,000x |
加速电压 | 0.2 – 30keV |
探测器 | 二次反射通道倍增电子探测器 四象限背散射电子探测器 |
分析能力 | 能量色散X射线光谱仪(EDS) |
| 电子背散射衍射(EBSD) |
附加功能 | 聚焦离子束(FIB) |
| 傅立叶变换红外光谱仪(FT - IR) |
| 内部摄像系统 |
图像处理 | |
软件 | MIRA控制系统 |
硬件 | 个人电脑,显示器和打印机 |
真空系统 | |
低真空泵 | 旋片泵,65立方米/ h |
| 旋转式转子泵,400立方米/小时 |
高真空泵 | 涡轮泵2400升/秒 |
极限真空 | 直至45分钟后10-6毫巴 |
真空室 | 3 m3; 9 m3; 12 m3 |
标本 | |
zui大尺寸 | 高达直径1500毫米,高度1500毫米 |
zui大质量 | 300 kg, |
定位系统 | |
轴 | 5 +1微步控制轴系统 |
重复精度 | ±50 μm |
定位范围 | |
X-轴 | 600mm, 1000mm, 1500mm |
Z-轴 | 600mm, 1000mm, 1500mm |
A-轴 | 90° |
B-轴 | 135° |
C-轴 | 360° |
D-轴 | 350° |
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