Mahr度量的技术实现一步完成轮廓和粗糙度测量
| 测量速度（文本） | 0.02 mm/s 至 10 mm/s； 粗糙度测量 推荐 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s |
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| 扫描长度末尾（X 方向） | 130 mm |
| 分辨率 | 0.8 nm |
| 扫描长度开始（X 方向） | 0.1 mm |
| 定位速度（文本） | 0.02 mm/s 至 200 mm/s |
| 测量范围 mm | 13 mm (100 mm probe arm) |
| 扫描长度（文本） | 0.1 mm - 130 mm 或 260 mm |
| 测量力 (N) | 0.5 mN 至 30 mN，可软件调整 |
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