K/B/S/R/C 菘启 PECVD热电偶

PECVD 用热电偶
客户需求：热电偶导热快，抗干扰
建议：使用铠装接地热电偶
铠装热电偶（sheathed thermocouple）：sheath型是再细金属管与热电偶线之间充填粉末状无机物再施予回火处理。
特性：sheath型具有，反应灵敏，高绝缘性，耐压，耐冲击，机械强度佳等优点。
通常填充的粉末为：氧化镁粉

1、spike tc

扩散炉用SPIKE热电偶

spike tc（单组）、spike tc（双组）、spike控温热偶、spike埋露式热偶、扩散炉用热偶、半导体设备用热偶

产品详细说明：

产品名称：铂铑（S/R/B）贵金属热电偶
分 度 号：R-type（S/B）
规 格：R-type（0.5）*ф3*200mml
材 质：正极-13%铑 负极-铂
测温范围：极限使用温域：0℃~1768℃ 常用温度：0℃~1450℃
精 度：CLASS A 0.25%
适用场所：扩散炉、氧化炉等半导体设备
特 点：耐高温、一般作为热偶的规范、可以进行双组控制

高纯石英管Profile热电偶

profile tc、profile t/c 、高纯石英管热电偶、扩散炉用热电偶、半导体行业用热电偶、校验热偶profile、

产品详细说明：

产品名称：贵金属（B/R/S）铂铑热电偶
分 度 号：S-type（R/B） profile T/C(高纯石英管)热电偶：
材 质：正极-10%铑 负极-铂
高纯石英管：耐温0~1280℃
S分度铂铑丝：0~1450℃
热偶测温范围：极限温域：-270℃~1768℃ 常用温度：0℃~1268℃
精 度：CLASS A
适用场所：半导体扩散炉
特 点：与spike同时使用来检测SPIKE TC的精确性，以方便做个对照，一般用得比较多的是3点、5点测温，因PROFILE TC外层保护管是高纯石英的，所以一般的耐温在1280℃，其保固期为一年，热偶出厂附检测报告书。