安捷伦 Agilent VacIon Plus 150 复合泵CombiTSP 150 集成了 VacIon 150 L/s 离子泵、TSP 泵芯和 TSP 低温挡板,可在体积不...
安捷伦 Agilent VacIon Plus 150 复合泵
CombiTSP 150 集成了 VacIon 150 L/s 离子泵、TSP 泵芯和 TSP 低温挡板,可在体积不变的情况下提高抽速。TSP 泵芯的吸气特性可快速达到超高和真空状态 (UHV/XHV),从而降低最限真空。低温挡板可进一步提高可吸收气体的抽除效率。高抽速三极离子泵元件对甲烷、氩气和氦气具有的抽速和容量。
这款泵非常适合粒子物理学和其他低压研究(如表面科学、纳米技术、材料科学),可根据您的需求定制不同的高压真空通导件、泵体几何形状和泵元件。
产品特性
该离子-TSP 复合泵为 VacIon Plus 150,带有一个附加侧孔或底部安装的 6 英寸 ConFlat 孔
配备三极离子泵、二极离子泵或惰性气体二极离子泵抽气单元,可达到惰性气体抽速
配备 ConFlat 6 英寸非旋转型入口法兰以及采用双法兰或带侧孔配置的额外 8 英寸 ConFlat 孔
低温挡板安装在外径 8 英寸的 ConFlat 法兰上,还包括一个用于安装 TSP 泵的 2.75 英寸 ConFlat 法兰
包括 TSP 泵芯,但未安装在泵内
低温挡板可为 TSP 的升华钛提供更大的表面积,避免真空系统受到涂层的不利影响。
使用液氮冷却时,低温挡板提高了吸气过程的效率和抽除水的速度。也可在水冷下运行,或在超高真空/真空应用下无需冷却地运行。
配备已安装的 120 Vac 或 230 Vac 加热器,还有多种真空穿导件可供选择(Fischer、King、DESY、Varian、SHV 10kV (Safeconn))
电缆和控制器单独提供
性能指标
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