表面轮廓测量仪

由高精密气浮直线运动导轨,建立X坐标的高精密测量基准,Z坐标由电感传感器构成,可以测量各种精密机械零件的素线形状.本仪器由于基准直线运动采用精密气浮导轨,故移动精度高、稳定性好、寿命长,而且运动灵活性好、直线性好、操作方便.运动距离采用进口光栅尺计量,X轴的尺寸坐标精确,数据采集及数据处理均采用计算机,故测试精度高、功能多,又可方便打印和存档,为用户带来很大的方便。

一、产品介绍：
表面轮廓测量仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数，角度处理（坐标角度，与Z坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线的距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟曲率半径、沟边距、沟心距、垂直距离、水平距离等形状参数。
二、表面轮廓测量仪的主要技术参数
X轴导轨移动直线度：≤0.3μm/60mm
示值误差1（L=X轴导轨移动距离）：±（1.5+1.5L/100）μm
示值误差2（H=Z轴方向测量高度）：±（1.2+13H/100）μm
可测范围：X轴方向100mm；Z轴方向（工件zui大高度）500mm
传感器量程：10mm
分辨率/量程：1/65536
进口英国RENISHAW公司光栅尺：精度±2μm/100mm 
数据采样：精密直光栅触发采样1μm/点
综合调整台调整范围：Y轴方向10mm，X轴水平可调±40度，Z轴回轴可调360度
工作压力：0.35～0.43Mpa
气源压力：0.45～0.80Mpa
气源流量：≥0.2 m³/min
电源：AC 220V±10%  50Hz
环境要求：温度：10～30℃；相对湿度：＜85%
主机重量：约200Kg
主机尺寸：900mm×490mm×1400mm
三、仪器测量原理
由高精密气浮直线运动导轨,建立X坐标的高精密测量基准,Z坐标由电感传感器构成,可以测量各种精密机械零件的素线形状.本仪器由于基准直线运动采用精密气浮导轨,故移动精度高、稳定性好、寿命长,而且运动灵活性好、直线性好、操作方便.运动距离采用进口光栅尺计量,X轴的尺寸坐标精确,数据采集及数据处理均采用计算机,故测试精度高、功能多,又可方便打印和存档,为用户带来很大的方便。
四、设备主要配置
气浮导轨系统
电动式花岗岩大理石方立柱系统
传感器移动装置系统
传感器系统(带测杆、硬质合金斜测针二只、锥测针二只及红宝石球测针一只)
英国RENISHAW公司进口光栅尺系统(带光栅板)
电器控制盒系统（带电器控制板）
综合调整台系统
精密V形铁系统
仪器主机架
花岗岩大理石工作台
防震支脚四只
空气过滤器一、二级系统
油水分离器系统
工控计算机系统
标准圆球一个（带检定证书）
软件刻录光盘
彩色喷墨打印机
电源插座一只
工具箱一只（带大小螺丝刀四只，内六角一套，活动板手一把，尖嘴钳一把）
电脑台一张
五、设备电器配置
1× 华北工控机 
1× 工控机箱NORCO610 
1× 工控主板 NORCO890
1× 底版NORCO PBP-14P4
1× CPU 酷睿双核 1.7
1× 内存 金士顿 1G 二代
1× 硬盘SEAGATE 80G
1× PHILIPS 17″液晶彩显
1× 电源 华北工控机
1× 光驱（华北工控配置）
1× 中文键盘（华北工控配置）
1× 光点鼠标（华北工控配置）
1× 爱普生彩色喷墨打印机
1× MS-Windows 的中文版软件包
1× WINDOWS XP系统MMD测量软件