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VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪

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产品简介:VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪是我公司自主新研制开发的一款高真空镀膜设备,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪配备有两个靶枪,一个弱磁靶用于非导电材料的溅射镀膜,一个强磁靶用于铁磁性材料的溅射镀膜。与同类设备相比,且具有体积小便于操作的优点,且可使用的材料范围广,是一款实验室制备各类材料薄膜的理想设备。

 

产品型号

VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪

主要特点

1、配置两个靶枪,一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,一个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜。

2、可制备多种薄膜,应用广泛。

3、体积小,操作简便。

技术参数

1、输入电源:220V/50Hz

2、溅射靶数量:2

3、靶枪冷却方式:水冷

4、极限真空度:7.4E-5pa

5、真空室规格:Φ300×330 mm

6、真空系统:VRD-16机械泵 FF-100/150涡轮分子泵

7、恢复真空:系统从大气抽至5.0E-3pa≤30 min(系统短时间暴露大气)

8、充气系统:2路质量流量计(1路氩气100scc、2路氩气200scc)特殊气体可定制

9、溅射靶规格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)

10、样品台:Φ140mm/可旋转(1~20rpm)/可加热(室温~1000℃)

产品规格

主机尺寸:宽900mm×深650mm×高1100mm


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