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GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪

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产品简介:GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪对程序进行设定 控制温度200ºC-1500ºC(或者1200ºC-~1700ºC的范围内进行变化,可蒸镀直径长达2"薄膜样品,在对样品进行蒸发镀膜的过程中,样品台可进行旋转旋转以获得更均匀的薄膜GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪应用范围广,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜,因此被广泛用于电极的制备和有机物发光LED的制备GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪体积小巧,可有效节约实验室空间;操作简单,对不同材料的适应性强,因此被广泛应用于各大高校和科研院所的实验室当中。

GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪‍操作视频

 

产品型号

GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪

主要特点

1、已通过CE认证。

2采用石英腔体,易于清洁和样品的放入

3样品台可旋转,能够使所制薄膜达到更好的均匀性

4钨丝作为发热源,温度可达到1700℃,并配有专用的氧化铝舟装载样品(仅1600ºC以下使用,若蒸发温度大于1600ºC,样品应直接放在钨丝篮中)

   

5热电偶安装在坩埚底部,以便于温度测量和控制

6、可将设备转换到手动调节状态,内部不安装热电偶,直接采用手动调节输出电流大小,发热源温度可达2000ºC,可达到对样品镀碳等实验要求。

7可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜。

8进气口配有针阀,用于调节进气流量。

技术参数

1电压:AC 208V-220V 50Hz/60Hz 单相

2功率:500W,电流为30A

3真空腔体:石英腔体,直径Ø6"

4样品台:直径Ø50mm;可旋转,转速5rpm;与蒸发源间距可调,调节范围60mm-100mm

5温度:1700ºC

6、热电偶:S型热偶,工作温度200ºC-1500ºC(可选用B型热偶,工作温度1200ºC-1700ºC

7、控温精度:±1ºC,数显温度控制器,可设置30段升降温程序

8、钨丝篮:2

9、真空接口:KF40

10、真空计:数显防腐真空计PCG554,测量范围3.8×10-5-1125torr

11、进气接口:1/4NPS

产品规格

尺寸:440mm×330mm×630mm

可选配件

1机械泵(带油污过滤器)(真空度<10-2torr,可以蒸发贵金属,如AuAg

2分子泵(可获得高真空,真空度<10-5torr,蒸发易氧化材料,如AlMgLi等)

3低真空系统

4、高真空系统

5、等离子清洗机(镀膜前对基片进行清洗,可获得更好的薄膜强度)


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