大负载桌腿型、主动气浮隔振光学平台（MAPS series）

产品介绍视频产品简介明立精机的MAPS系列产品的除振系统是在精巧的形状中加入垂直与水平用的气压驱动器而构成的组装型除振装置

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产品简介

明立精机的MAPS 系列产品的除振系统是在精巧的形状中加入垂直与水平用的气压驱动器而构成的组装型除振装置。使用1 组4 个的话，对应全自由度的振动，能发挥出除振性能、制振性能、定位性能等。

产品特点

1. MAPS 可以消除被动除振的困难频段的振动

2. 标准的MAPS 可除振10 吨以上的设备

3. 搭载工件等移动装置也不会摇摆

4. MAPS 具有精确定位及精密校平性能

5. MAPS 是小型易操作的组合型系列

6. MAPS 是构成精密设备的一个重要部分

应用领域

半导体制造，等

主要规格和参数表

附注