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D07-7B CS200A系列七星华创质量流量计

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CS200A系列七星华创质量流量计
流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进
行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量,使之与设定的流

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CS200A系列七星华创质量流量计

流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。

将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进

行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量,使之与设定的流

CS200A系列七星华创质量流量计

型号

D07-26C

D07-7B

D07-19B

D07-9E

D07-60B

CS200A

CS200D

类型

普通型

普通经济型

精度型

大流量型

高精度型,数字型

高精度型 ,全金属密封型,


产品精度

±1.5F.S.

±1.5F.S.

±1F.S.(20slm

30slm ±2F.S.)

±2F.S.

±2F.S.

±0.35F.S.(35% F.S.)

±1.0% S.P.(35% F.S.)

±0.35F.S.(35% F.S.)

 ±1.0% S.P.(35% F.S.)

线性

±1F.S.

±1F.S.

±0.5% F.S.

±1F.S.

±1F.S.

±0.5% F.S.

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% FS

±0.2% FS

±0.2% FS

±0.2% FS

±0.2% FS

±0.2% FS

±0.2% FS

量程范围

20sccm-10slm

5sccm,- 10slm

5sccm-30slm

20slm,--,250slm

300slm-2000slm

5sccm,---- 50slm

2sccm,---30slm

工作压力范围

(0.10.5) MPa

(0.10.5) MPa

(0.10.3) MPa,

(0.10.5) MPa

(0.050.30) MPa20slm F.S.30slm

(0.150.30) MPa200slm F.S.250slm

(0.250.5) MPa F.S.1000slm

(0.050.35) MPa F.S.10slm,

,(0.20.45) MPa30slmF.S.

(0.050.35) MPa F.S.10slm

,(0.10.35)MPa10slmF.S.30slm



该气体配比器可以外接两种或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏

气体配比器 主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加



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