INano/IMicro 纳米压痕仪

KLA公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器， iMicro微纳米压痕仪。对纳米压痕物理模型和优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解，以及具有良好灵敏度的三片式电容传感器的设计，保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高分辨的控制。1000mN载荷范围，6nN加载精度，0.04nm位移精度。
• 快速准确的动态纳米压痕测试
• 电磁加载方式
• 快速准确的位移测量

•IMicro包括InView软件，它提供非常强大和直观的实验脚本平台，可以用于设计新颖的实验。有经验的用户可以使用IMicro进行几乎所有小规模的机械测试。

•样品台移动Z轴为25 mm，X为100 mm，Y轴为150 mm，可测试各种样品高度和大样品区。

•载荷刚度>3,500,000N/m

•特的TiP-calibration系统集成到软件中，可以快速、准确、自动的进行校准。可选择NanoBlitz地形和断层扫描软件来执行

•更高的负载和更广泛的应用使IMicro成为世界上研究实验室的选择

•允许进行广泛的测试，包括但不限于特定频率的实验、存储和损失模量、模量和硬度（Oliver和Pharr）和恒定应变率。

•多功能执行机构可用于测试任何材料，从超软凝胶到硬涂层。

•可用的划痕选项，大负载为50mN，大划痕偏差为2.5mm，大划痕速度为500um/s。