NanoFlip KLA原位纳米压痕

KLA InSEM 系列可以和各个SEM和FIB厂商的主流型号联合工作，包括FEI、Jeol、Tescan、Zeiss 等等。

KLA 公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器。对纳米压痕物理模型和线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解，以及高灵敏度的三片式电容传感器的设计，保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高精准、高分辨的控制。KLA InSEM 系列：*的激发器的结构设计，*实现载荷和位移的分别控制和探测，实现纳米压痕检测，包括动态力学测试、软材料测试、及薄膜测试等等。

InForce50 载荷激发器 载荷激发器

• 加载载荷： 50mN

• 纵向载荷分辨率： 3nN

• 压头移动范围：45um

• 位移噪音背景:<0.01nm

• 位移数字分辨率：<0.002nm

InForce1000 载荷激发器 载荷激发器

• 加载载荷： 1000mN

• 纵向载荷分辨率： 6nN

• 压头移动范围：80um

• 噪音背景:<0.1nm

• 位移数字分辨率：<0.004nm

NanoFlip 的样品台处于“Up”状态时，SEM/FIB 可以方便的观察样品和进行微区定位，当

样品台处于“Down”状态时，SEM/FIB 又可以对整个力学实验过程进行实时观察并进行实

时的视频捕捉