JESD22-A110E—HAST高压加速老化试验箱

为了规定半导体器件在潮湿的环境下的可靠性，采用HAST设备进行温度、湿度和偏压等恶劣条件来加速潮气穿透外部保护材料（灌封或密封）或外部保护材料和金属导体的交接面。此试验应力产生的失效机理通常与“85/85”稳态温湿度偏置寿命试验（见IEC60749-5）相同。试验方法可以从85℃/85%RH稳态寿命试验或本试验方法中选择。在执行两种试验方法时，85℃/85%RH稳态寿命试验的结果优先于强加速稳态湿

1、测试范围

为了规定半导体器件在潮湿的环境下的可靠性，采用HAST高压加速老化试验箱进行温度、湿度和偏压等恶劣条件来加速潮气穿透外部保护材料（灌封或密封）或外部保护材料和金属导体的交接面。此试验应力产生的失效机理通常与“85/85”稳态温湿度偏置寿命试验（见IEC60749-5）相同。试验方法可以从85℃/85%RH稳态寿命试验或本试验方法中选择。在执行两种试验方法时，85℃/85%RH稳态寿命试验的结果优先于强加速稳态湿热试验（HAST）。

2、仪器设备

HAST高压加速老化试验箱用于评估非气密性封装IC器件、金属材料等在湿度环境下的可靠性。通过温度、湿度、大气压力条件下应用于加速湿气的渗透，可通过外部保护材料（塑封料或封口），或在外部保护材料与金属传导材料之间界面。它采用了严格的温度，湿度，大气压、电压条件，该条件会加速水分渗透到材料内部与金属导体之间的电化学反应。失效机制：电离腐蚀，封装密封性。

2.1试验箱技术参数：

型号：RK-HAST-450

内箱尺寸 （Φ*D）：400*550

外箱尺寸 （W*H*D）：750*1300*1050

温度范围：100℃~+155℃    

湿度范围：65~100R.H    

压力范围：0.2~3.5kg/cm²（0.05~0.343MPa）    

温度波动度：≤±0.5℃    

温度均匀度：≤±0.5℃（湿度100R.H），≤±1℃（湿度75R.H）    

湿度均匀度：≤±3.0R.H    

湿度波动度：≤±2.5R.H    

外部气源加压时间：约5 min    

加压时间：约45 min    

外壳材质：不锈钢板高级烤漆，防腐电解板    

内箱材质：SUS316不锈钢板    

保温材质：*保温层，阻燃等级A1    

2.2.设备产品特点

可定制BIAS偏压端子组数，提供产品通电测试

通过电脑安全便捷的远程访问

多层级的敏感数据保护

便捷的程序入口、试验设置和产品监控

试验数据可以导出为Excel格式并通过USB接口进行传输

可提供130℃温度、湿度85%RH和230KPa大气压的测试条件