牛津仪器 电感耦合等离子体刻蚀PlasmaPro 100 Polaris
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- 公司名称 长沙艾克赛普仪器设备有限公司
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- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2021/7/9 15:43:15
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牛津仪器 电感耦合等离子体刻蚀PlasmaPro 100 Polaris 专为刻蚀坚硬材料(如GaN,蓝宝石和SiC)所需要使用的腐蚀性化学气体而设计,可在直径200mm的晶圆上实现快速均匀刻蚀。 高效的刻蚀速率 低购置成本 专为腐蚀性的化学成分而设计 出色的刻蚀均匀性 适用于蓝宝...
高效的刻蚀速率
低购置成本
专为腐蚀性的化学成分而设计
出色的刻蚀均匀性
适用于蓝宝石的静电压盘技术
蓝宝石和硅上的GaN
高导通抽气系统
可与其它PlasmaPro系统集成
牛津仪器 电感耦合等离子体刻蚀PlasmaPro 100 Polaris特征
PlasmaPro 100 Polaris单晶圆刻蚀系统为得到更为的刻蚀效果提供了智能解决方案,使您在行业中能保持竞争优势。
主动冷却电极 - 在刻蚀过程中保持样品温度
高功率ICP源 - 产生高密度等离子体
可靠的硬件且易于维护 - 可保持长时间正常运转
磁场垫环 - 增强离子的控制和均匀性
静电压盘技术 - 适用于蓝宝石,以及蓝宝石和硅基的GaN
加热的腔室内衬 - 优化以减少腔壁沉积
先进的自动匹配单元(AMU) - 提供快速,高效和准确的匹配,确保工艺的高度精准重复性
牛津仪器 电感耦合等离子体刻蚀PlasmaPro 100 Polaris应用
电感耦合等离子体刻蚀要点
电感耦合等离子体刻蚀特点及优势
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