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产品概述∶
OTF-1200X-RTP-II-5-R是一款5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉，其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门设计针对于热蒸发或CSS（Close Spaced Sublimation）镀膜实验，其毂样台尺寸5x5“，并且顶部载样台可旋转，提高镀膜均匀性。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管（分别位于顶部和底部），最大升温速率为10°C/s 。
| 设备名称 | 5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉 |
| 主要特点 | ·快速升温，最高达10℃/s。 ·最高温度可达800℃。 ·由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部，两温度控制器进行独立控温。 ·两样品台距离以及旋转均可通过触摸屏控制。 ·顶部载样台可旋转。
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| 基本参数 | ·工作温度∶最高800℃，两个加热区之间的最大温差为300℃ ·最快升温速率∶ 10 ℃/s· 冷却速率∶ >10 ℃/s（800-300℃） ·真空度∶20Pa（机械泵），10E-1Pa（分子泵） ·控温精度∶+/-0.1℃（欧陆表） · 加热元件∶红外灯管 ·最大功率∶ 10KW（>50A保险） · 热电偶∶ K热电偶 ·超温和断偶保护 ·设备电源∶ AC220V/50HZ 单相 |
| 加热元件和栽样台 | ·由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部· 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节（触摸屏控制）· 顶部载样台转速可调，0-10 r/min（触摸屏控制） ·为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中（不锈钢壳体采用316不锈钢制作）·采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性
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| 真空法兰 | ·真空法兰为316不锈钢制作 ·顶部法兰（可通过控制盒进行上升和下降）∶一机械压力表 一KF16接口，可以安装防腐真空计两个不锈钢精密针阀用于气体的进出 ·底部法兰∶ 一KF25接口，可以与真空泵相连接法兰是通过两个硅胶o型圈进行密封
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| 尺寸 | 790mm*600mm*1100mm
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| 认证 | CE认证 |
| 质保 | 一年质保期，终生维护（不包括密封圈、加热元件和石英管） |
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