三温区真空气氛回转炉CVD系统

名称

规格

 三温区真空气氛回转炉CVD系统CVD1200C 900D60IIIR3ZLV

三温区真空回转炉

炉管尺寸

Φ60×1400mm 更多其他规格石英管可选（Φ50/60/80/100mm等）

配备特殊设计石英样品仓，可将样品仓整管取出，取放样方便

主要参数

温度: 1200℃(使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变)

 工作温度: 1100℃

 推荐升温速率:≤10℃/min

 加热区长度: 300+300+300mm

 额定功率：7KW

旋转速度：0-13转/min

 电压：单相AC 208 - 240V, 50Hz

炉体结构

双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C

高纯状氧化铝纤维绝缘层，最大限度节约能源

炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命

温控系统

模糊PID控制和自整定调节功能

 智能化30段可编程控制

 具有超温及断偶报警功能

 控温精度: ±1 ℃

 K型热电偶

 可安装PC控制软件对数据进行实时采集（需另购）

温控仪表（可选）

标配仪表品牌为宇电，可选择其他品牌温控仪表，如岛电等。

管堵

多种规格管堵，防止来自内部管子的热辐射，管堵在加热前必须*放入炉腔。石英管堵满足洁净实验环境或者较高真空需求

密封系统

炉管两端配有不锈钢密封法兰。（包括精密针阀、指针式真空压力表、软管接头）

 如需获得较高的真空度，建议采用不锈钢波纹管连接及数显真空计（需另外订购）

出气端配备磁流体密封装置，容许设备在连续真空条件下工作。

备注：本公司标配法规格如下进气端Φ6卡套接口，可连接Φ6不锈管或者聚四氟管。

出气端预留KF25接口，方便连接真空泵，KF16接口，方便连接数显真空计，以及Φ9气嘴接头，以便出气

扩展端口

 如进气管道为橡胶软管，则需将进气口更换成Φ9气嘴接头

真空度

双极旋片机械泵：10^-1Pa

 分子泵机组：10^-3 Pa

可选配本公司配套高低真空

外形尺寸

650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H)

净重

40Kg

三路质量流量控制系统

MFC-3Z

电压

 220VAC  单相  50/60Hz

针阀材质

 316不锈钢

量程

 50sccm、100sccm、200sccm（可根据工艺要求提供多种量程选择）

工作温度

 5～45℃

外型尺寸

 600(L) x 600(W) x 750(H) mm

电压

 AC220V/50Hz单相

功率

 23W

真空系统

LVU-10

壳体尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

最大承载量

1000 Lbs 

抽气速率

10m³/h

极限真空度：10^-1Pa

双层立式油污过滤器(PE材质）与真空泵连接

质保期

一年保修，终身技术支持。

 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

相关应用

炉膛内衬可以单独更换（额外付费）

 可以根据要求设计成带有滑动法兰的炉子

应用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

 石英管的长时间使用温度＜1100℃

 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）