GSL-1100X 合肥科晶大口径管式真空气氛炉

产品型号

大口径管式真空气氛炉GSL-1100X

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、石英管外径为6″、8″、8.5″、11″

2、采用PID控制器，可以设置51段控温程序。

3、控温精度高，保温效果好，温度范围大，炉膛温度均匀性高，可通气氛抽真空。

4、安全可靠，操作简单。

技术参数

1、电源：AC 380V  50/60Hz   5KW

2、石英管：Ø152mm×1000mm，Ø203mm×1000mm，Ø216mm×1000mm，Ø280mm×1000mm

3、加热元件：掺钼铁铬铝

4、加热区域：900mm

5、温区：3个，各300mm长

6、极限温度;1100℃

7、工作温度：1000℃

8、大升温速率：20℃/min

9、推荐升温速率：10℃/min

10、控温精度：±1℃

11、控温段数：51段

产品规格

尺寸：1300mm×650mm×1050mm；重量：150kg

标准配件

1

石英管

1根

2

管堵

4个

3

坩埚钳

1把

4

热电偶

1根

5

真空法兰

1套

6

高温手套

1双

可选配件

1、石英管

2、氧化铝坩埚

3、石英坩埚

4、真空泵