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好处
典型应用
规格
| 类型 | 1000Torr / 1100mbar ... 0.05Torr / mbar | 0.02 ... 0.01Torr / mbar | |
|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.15 | - |
| 精度 | % of reading | - | 0.2 |
| 温度效应 | |||
| 零点 | percent FS/°C | 0.0025 | - |
| 在零点 0.5 ... 0.05 乇/毫巴 | percent FS/°C | 0.005 | - |
| 在零点 0.02 ... 0.01 乇 | percent FS/°C | - | 0.01 |
| 满量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 |
| 大压强 | |||
| P 大 1000乇/毫巴 | kPa (absolute) | 400 | 400 |
| P大 500 ... 1乇/毫巴 | kPa (absolute) | 260 | 260 |
| P 大 0.5 ... 0.01乇/毫巴 | kPa (absolute) | 130 | 130 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 |
| 低读数 | percent FS | 0.01 | 0.01 |
| 建议的低读数 | percent FS | 0.05 | 0.05 |
| 建议的低控制压力 | percent FS | 0.5 | 0.5 |
| 温度 | |||
| 运行（环境） | °C | +10 … +40 | +10 … +40 |
| 在法兰处烘烤 | °C | ≤110 | ≤110 |
| 贮存 | °C | –20 … +85 | –20 … +85 |
| 电源电压 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |
| 功耗 | |||
| 加热时 | W | ≤14 | ≤14 |
| 运行温度 | W | ≤9 | ≤9 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 |
| Measurement rate | kHz | 1 | 1 |
| 反应时间 (2) | ms | 2 ... 20 | 2 ... 20 |
| Signal processing time | ms | 2 | 2 |
| 保护等级 | IP 30 | IP 30 | |
| 标准 | |||
| CE 合规 | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 认证 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | |
| SEMI 合规 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
| 电气连接 | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | |
| 设定点 | |||
| 设定点数量 | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | |
| 继电器触点 | ≤30 | ≤30 | |
| 滞后 | percent FS | 1 | 1 |
| 诊断端口 | |||
| 协议 | USB | USB | |
| 读数 | pressure, status, ID | pressure, status, ID | |
| 设置 | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) | |
| 内部容积 | |||
| 内部容积 1/2'' 管 | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 内部容积 DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 内部容积 DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 内部容积 8 VCR® | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 重量 | |||
| 重量 1/2'' 管 | g | 837 | 837 |
| 重量 DN 16 ISO KF | g | 852 | 852 |
| 重量 DN 16 CF-R | g | 875 | 875 |
| 重量 8 VCR® | g | 897 | 897 |
| EtherCAT | |||
| 协议 EtherCAT | protocol specialized for EtherCAT | protocol specialized for EtherCAT | |
| 通讯标准 | ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge | ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge | |
| 节点地址 | Explicit Device Identification | Explicit Device Identification | |
| 物理层 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |
| 数字功能读取 | pressure, status, ID | pressure, status, ID | |
| 数字功能设置 | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | |
| (CoE) | SDO requests, responses and information | SDO requests, responses and information | |
| 过程数据 | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |
| EtherCAT 连接器 | 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |
| 电缆 | shielded Ethernet CAT5e or higher | shielded Ethernet CAT5e or higher | |
| 电缆长度 | m (ft.) | ≤100 (330) | ≤100 (330) |
| Signal processing time | ms | 2 | 2 |
(1) 非线性，迟滞，在 25°C 环境工作温度中的可重复性，2 小时工作后无温度影响。
(2) 提高 10 … 90 % FS
数据表
手册
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