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Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000 托 / 毫巴

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好处

  • 易于集成，EtherCAT，各种满刻度和法兰，标配两个设定点
  • 轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
  • 诊断端口用于快速维修和维护
  • 防腐陶瓷传感器
  • 的*信号稳定性
  • 温度补偿
  • 传感器防污染保护
  • 合规性与标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

  • 刻蚀、PVD 和其他半导体制造过程
  • 数据存储和显示制造设备
  • 工业真空设备
  • 常规高精度压力测量

规格

类型 1000 Torr, 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr / mbar 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
温度效应          
零点 percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
满量程 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
压力，大 kPa (absolute) 400 260 260 130 130
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
低读数 percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
建议的低读数 percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
建议的低控制压力 percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
温度          
传感器 °C 25 25 25 25 25
运行（环境） °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
在法兰处烘烤 °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
贮存 °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
电源电压 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗          
运行温度 W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
输出信号（模拟） V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10
反应时间 (2) ms 30 30 30 130 130 / 30 (3)
保护等级 IP 40 IP 40 IP 40 IP 40 IP 40
标准          
CE 合规 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合规 SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
电气连接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
设定点          
设定点数量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
继电器触点 ≤30 ≤30 ≤30 ≤30 ≤30
滞后 percent FS 1 1 1 1 1
诊断端口          
协议 RS232-C RS232-C RS232-C RS232-C RS232-C
读数 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
设置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))
内部容积          
内部容积 1/2'' 管 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
重量          
重量 1/2'' 管 g 837 837 837 837 837
重量 DN 16 ISO KF g 852 852 852 852 852
重量 DN 16 CF-R g 875 875 875 875 875
重量 8 VCR® g 897 897 897 897 897
EtherCAT          
协议 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通讯标准 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
数据率 Kbps 100000 100000 100000 100000 100000
节点地址 Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
数字功能设置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
过程数据 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
(CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT 连接器 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)

(1) 非线性，迟滞，在 25 °C 环境工作温度中的可重复性，2 小时工作后无温度影响。

(2) 提高 10 … 90 % FS  

(3) 仅用于压力控制类型

(4) 18% 铬，10% 镍，3% 钼，69% 铁

CDG025D2 Edge Ordering Information

数据表

手册

手册

三维步骤文件

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