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SKY CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar

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好处

  • 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
  • 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
  • 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
  • 诊断端口便于快速服务与维护
  • 两年保修服务、加热概念和真空计保护延长了使用寿命
  • 的信号稳定性和可重复性,即使是严苛的等离子应用,都无需*执行重新校准
  • 合规和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

  • 蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
  • 化学和腐蚀性高温过程
  • 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

新闻

现在提供 EtherCAT 数字接口

规格

类型 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.4 0.4
温度效应    
零点 percent FS/°C 0.005 0.005
满量程 % of reading / °C 0.02 0.02
压力,大 kPa (absolute) 400 260
分辨率 percent FS 0.003 0.003
低读数 percent FS 0.01 0.01
建议的低读数 percent FS 0.05 0.05
建议的低控制压力 percent FS 0.5 0.5
温度    
运行(室内环境)(4) °C +10 … +50  
在法兰处烘烤 °C ≤200 ≤200
贮存 °C –40 … +65 –40 … +65
电源电压 +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%) +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%)
功耗    
加热时 W ≤18 ≤18
运行温度 W ≤12 ≤12
输出信号(模拟) V (dc) 0 … +10 0 … +10
反应时间 (2) ms 30 30
保护等级 IP 40 IP 40
标准    
CE 合规 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合规 SEMI S2 SEMI S2
电气连接 D-Sub, 15-pin, male D-Sub, 15-pin, male
设定点    
设定点数量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
继电器触点 ≤30 ≤30
滞后 percent FS 1 1
诊断端口    
协议 RS232-C RS232-C
读数 pressure, status, ID pressure, status, ID
设置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3))
内部容积    
内部容积 1/2'' 管 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
重量    
重量 1/2'' 管 g 837 837
重量 DN 16 ISO KF g 852 852
重量 DN 16 CF-R g 875 875
重量 8 VCR® g 897 897
EtherCAT    
协议 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通讯标准 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
节点地址 Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID
数字功能设置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
(CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
过程数据 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
EtherCAT 连接器 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)
Signal processing time ms 2 2
DeviceNet™    
协议 DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
数据率 kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
电缆长度 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650)
电缆长度 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825)
电缆长度 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330)
MAC ID address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable
数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID
数字功能设置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
技术规格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
设备类型 ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge
I / O 从属传讯 polling only polling only
真空计 D 型连接器的电源电压 +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
为微型连接器上的 DeviceNet 收发器提供电压 24 V nom / <2 w="" (11="" …="" 25=""> 24 V nom / <2 w="" (11="" …="" 25="">
DeviceNet™ 连接器 microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
CDG(模拟输出、CDG 电源电压、设定点)连接器 D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP    
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable
数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID
数字功能设置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 连接器 D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
CDG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1) 非线性,迟滞,在 25 °C 环境工作温度中的可重复性,2 小时工作后无温度影响。 

(2) 提高 10 … 90 % FS 

(3) 18% 铬,10% 镍,3% 钼,69% 铁

(4) 环境温度 > 40°C 可能会使表面温度升高到 SEMI S2 合规水平以上。

CDG160D Sky PIM Ordering Information.png

数据表

手册

手册

三维步骤文件

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