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SKY CDG025D-X3 4-20mA current loop 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计

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好处

  • 全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
  • 电源接通后快速稳定
  • 暴露于大气压后快速恢复
  • 防腐陶瓷传感器
  • 的*信号稳定性
  • 温度补偿
  • 传感器防污染双层保护
  • 一键调零功能
  • 电源范围广
  • 2 个设定点
  • RS232 接口
  • Remote zero included
  • 符合洁净室标准
  • Status LED

典型应用

  • 用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
  • 数据存储和显示制造设备
  • 工业真空设备
  • 常规高精度压力测量

规格

类型 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
温度效应          
零点 percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
满量程 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
压力,大 kPa (absolute) 300 200 200 200 130
反应时间 (2) ms ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100
低读数 percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
建议的低读数 percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
建议的低控制压力 percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
温度          
运行(环境) °C +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60
在法兰处烘烤 (4) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
贮存 °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
电源电压 V (dc) +21 … +27 +21 … +27 +21 … +27 +21 … +27 +21 … +27
76b34a4a-4e29-4c2f-b9f5-f7c162f44101          
Signal range mA 3.8 ... 20.2 3.8 ... 20.2 3.8 ... 20.2 3.8 ... 20.2 3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS) mA 4.0 ... 20.0 4.0 ... 20.0 4.0 ... 20.0 4.0 ... 20.0 4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure linear linear linear linear linear
Loaded impedance RL          
33b4d39f-dcb0-4da6-b8bb-405bbe6e5695 typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)
absolute 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
absolute 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
absolute 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
remote zero input          
High level +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA
Low level V (dc) ≤2
Remote zero function          
High level (pulse >1s) auto zero adjust auto zero adjust auto zero adjust auto zero adjust auto zero adjust
Low level measurement operation measurement operation measurement operation measurement operation
保护等级 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
标准          
CE 合规 EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS
ETL 认证 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
电气连接 D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male
Sensor cable          
Without remote zero two-wire cable plus shielding, twisted two-wire cable plus shielding, twisted two-wire cable plus shielding, twisted two-wire cable plus shielding, twisted two-wire cable plus shielding, twisted
With remote zero four-wire cable plus shielding, twisted four-wire cable plus shielding, twisted four-wire cable plus shielding, twisted four-wire cable plus shielding, twisted four-wire cable plus shielding, twisted
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))
内部容积          
内部容积 1/2'' 管 cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
内部容积 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
内部容积 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
内部容积 8 VCR® cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
重量          
重量 1/2'' 管 g 310 310 310 310 310
重量 DN 16 ISO KF g 330 330 330 330 330
重量 DN 16 CF-R g 350 350 350 350 350
重量 8 VCR® g 370 370 370 370 370

(1) 25 °C 环境温度时非线性、滞后、可重复,运行 2 小时后不产生温度效应。

(2) 增加 10 ...90 % FS

(3) 仅适用于压力控制类型

(4) 非运行

(5) 18% 铬、10% 镍、3% 钼、69% 铁

CDG025D-X3 4-20mA Current Loop

数据表

手册

手册

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